[发明专利]固体摄像装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种固体摄像装置。

背景技术

作为固体摄像装置，众所周知的有使用CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor，互补金属氧化物半导体)技术的装置，其中 尤以被动式像素传感器(PPS：Passive Pixel Sensor)方式最为人所知(参 照专利文献1)。在PPS方式的固体摄像装置中，以M行N列二维排列 着包含有产生与入射光强度相应量的电荷的光电二极管的PPS型像素 部，且将在各像素部中与光入射相对应而产生于光电二极管中的电荷， 在积分电路中积蓄至电容元件中，并输出与该积蓄电荷量相应的电压 值。

通常，各列的M个像素部各自的输出端经由对应该列而设置的读 取用配线与对应该列而设置的积分电路的输入端连接。另外，自第1 行至第M行为止的依次的每一行中，在像素部的光电二极管产生的电 荷经由对应的读取用配线而输入至对应的积分电路，并自该积分电路 输出与电荷量相应的电压值。

PPS方式的固体摄像装置可用于各种用途，例如与闪烁器面板组 合作为X射线平板而用于医疗用途或工业用途等，更具体而言，用于 X射线CT(Computer Tomography，电脑断层扫瞄)装置或微聚焦X射线 检查装置等。用于上述用途的固体摄像装置中，以二维排列M×N个 像素部的受光部面积较大，因而有在各边的长度超过10cm的大小的半 导体基板上进行集成的情形。因此，有时只能由1片半导体晶圆来制 造1个固体摄像装置。

专利文献1：日本专利特开2006-234557号公报

发明内容

如上所述的固体摄像装置中，当与任一列对应的读取用配线在制 造过程中产生断线的情况下，该列的M个像素部中，相对于积分电路 更靠近断线位置处的像素部通过读取用配线而与积分电路连接，但相 对于积分电路比断线位置位于更远处的像素部则并未与积分电路连 接。因此，相对于积分电路比断线位置位于更远处的像素部中，与光 入射相对应而产生于光电二极管中的电荷不会读取至积分电路，而不 断地积聚于该光电二极管的接合电容部中。

当光电二极管的接合电容部中所积聚的电荷量超过饱和电平时， 超过饱和电平部分的电荷会溢出至相邻的像素部。因此，若1条读取 用配线断线，其影响不仅会涉及与该读取用配线连接的列的像素部， 还会涉及到相邻两边的列的像素部，结果导致在连续的3列像素部产 生缺陷线。

若缺陷线不连续，1条缺陷线的相邻两边均为正常线，则可使用相 邻两边的正常线的各像素数据来内推缺陷线的像素数据。然而，当在 连续的3列像素部都产生有缺陷线时，则难以进行上述内推。尤其是 如上所述的具有大面积受光部的固体摄像装置中，因读取用配线较长， 故产生断线的概率较高。

在专利文献1中提出了试图解决上述问题的发明。该发明中，求 出位于缺陷线相邻处的邻接线的总像素数据的平均值，并且还求出位 于进一步相邻处的正常的数条线的总像素数据的平均值，若这两个平 均值之差为固定值以上，则判定邻接线也存在缺陷，并对该邻接线的 像素数据进行补正，进而依据该邻接线的像素数据经补正后的值，对 缺陷线的像素数据进行补正。

专利文献1中记载的发明中，在对判定为缺陷的邻接线的像素数 据进行补正时，求出与该邻接线的两侧最接近的正常线上的两个像素 数据的平均值，并将该平均值作为该邻接线的像素数据。另外，对缺 陷线的像素数据进行补正时，求出该缺陷线的两侧的邻接线上的两个 像素数据的平均值，并将该平均值作为该缺陷线的像素数据。

然而，专利文献1中记载的发明中，为了对缺陷线(以及位于缺陷 线附近的被判定为缺陷的线)的像素数据进行补正，将求出两个像素数 据的平均值的处理反复进行多次，因此，在补正后的图像中，缺陷线 附近的解析度降低。

本发明是为了解决上述问题而完成的，其目的在于提供一种固体 摄像装置，该固体摄像装置能够在任一读取用配线出现断线时，对像 素数据进行补正，并获得高解析度的图像。