[发明专利]具有减小的电流泄漏的半导体器件测试系统

权利要求书

1.一种测试电路，包括：

第一被测器件（DUT），所述第一被测器件具有用于接收测试信 号的端子；

第一开关器件，所述第一开关器件具有输出端子，所述输出端子 用于当正测试所述第一被测器件时将所述测试信号耦合到所述第一被 测器件的所述端子，并且当没有测试所述第一被测器件时处于高阻抗；

第二开关器件，当正测试所述第一被测器件时，所述第二开关器 件处于高阻抗，并且当没有测试所述第一被测器件时，所述第二开关 器件将偏置控制信号耦合到所述第一开关器件的所述输出端子，其中， 所述偏置控制信号追踪所述测试信号；

第二被测器件，所述第二被测器件具有用于接收所述测试信号的 端子；

第三开关器件，所述第三开关器件具有输出端子，所述输出端子 用于当正测试所述第二被测器件时将所述测试信号耦合到所述第二被 测器件的所述端子，并且当没有测试所述第二被测器件时处于高阻抗； 以及

第四开关器件，当正测试所述第二被测器件时，所述第四开关器 件处于高阻抗，并且当没有测试所述第二被测器件时，所述第四开关 器件将偏置控制信号耦合到所述第三开关器件的所述输出端子。

2.根据权利要求1所述的测试电路，还包括：

第五开关器件，当正测试所述第一被测器件时，所述第五开关器 件将所述测试信号从所述第一开关器件耦合到所述第一被测器件的所 述端子，并且当没有测试所述第一被测器件时，所述第五开关器件处 于高阻抗。

3.根据权利要求1所述的测试电路，其中，所述第一开关器件包 括第一传输门，所述第一传输门具有用于接收所述测试信号的输入端 子和用于接收选择信号的控制端子，所述选择信号指示是否选择了所 述第一被测器件来进行测试。

4.根据权利要求3所述的测试电路，其中：

所述第一被测器件包括晶体管，所述晶体管具有作为端子的漏极、 与地耦合的源极以及当正测试所述第一被测器件时用于接收栅极加载 信号的栅极。

5.根据权利要求4所述的测试电路，还包括第二传输门，所述第 二传输门具有用于接收所述栅极加载信号的信号输入端子、与所述栅 极耦合的信号输出以及与所述第一传输门的所述控制端子耦合的控制 端子。

6.根据权利要求5所述的测试电路，还包括第三传输门，所述第 三传输门具有与所述漏极耦合的信号输入端子、用于提供漏极感测信 号的输出以及与所述第一传输门的所述控制端子耦合的控制端子。

7.根据权利要求6所述的测试电路，其中，所述第二开关器件包 括第四传输门，所述第四传输门具有用于接收所述偏置控制信号的信 号输入端子、与所述第一开关器件的所述输出端子耦合的输出，以及 用于接收与所述选择信号互补的信号的控制端子。

8.根据权利要求7所述的测试电路，其中，所述第四传输门具有 用于接收所述选择信号的互补控制端子。

9.根据权利要求1所述的测试电路，其中，所述第一被测器件包 括二极管。

10.根据权利要求1所述的测试电路，其中，所述测试信号是具 有第一幅值的第一直流偏置电压，以及所述偏置控制信号是具有所述 第一幅值的第二直流偏置电压。

11.一种测试具有端子的第一被测器件和具有端子的第二被测器 件的方法，包括：

向第一开关器件的第一端子和第二开关器件的第一端子施加测试 信号；

当正测试所述第一被测器件时，将所述测试信号从所述第一开关 器件的第二端子施加到所述第一被测器件的所述端子；

当正测试所述第二被测器件时，将所述测试信号从所述第二开关 器件的第二端子施加到所述第二被测器件的所述端子；

当正测试所述第二被测器件时，向所述第一开关器件的所述第二 端子施加追踪所述测试信号的泄漏控制信号；以及

当正测试所述第一被测器件时，向所述第二开关器件的所述第二 端子施加所述泄漏控制信号。