[发明专利]阴极体以及采用该阴极体的荧光管无效
| 申请号： | 200880106539.8 | 申请日： | 2008-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN101802967A | 公开（公告）日： | 2010-08-11 |
| 发明（设计）人： | 大见忠弘;后藤哲也 | 申请（专利权）人： | 国立大学法人东北大学;财团法人国际科学振兴财团 |
| 主分类号： | H01J61/06 | 分类号： | H01J61/06;H01J9/02;H01J61/70 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 汪惠民 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 阴极 以及 采用 荧光 | ||
【权利要求书】：
1.一种LaB6膜的制造方法，具有在基板上溅射形成LaB6膜的工序， 该LaB6膜的制造方法的特征在于，
通过RF-DC耦合放电，将标准化离子照射量设为5～17来溅射形成 该LaB6膜，并且使该LaB6膜在(100)面配向，
在基板上溅射形成LaB6膜的工序之后，具有在惰性气体氛围中对该 LaB6膜进行热处理的工序。
2.根据权利要求1所述的LaB6膜的制造方法，其特征在于，
在上述热处理工序中，将热处理温度设为400℃～1000℃。
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