[发明专利]搬运装置的停止检测方法有效
申请号: | 200880106566.5 | 申请日: | 2008-09-19 |
公开(公告)号: | CN101802996A | 公开(公告)日: | 2010-08-11 |
发明(设计)人: | 藤井佳词 | 申请(专利权)人: | 株式会社爱发科 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 北京英特普罗知识产权代理有限公司 11015 | 代理人: | 齐永红 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 搬运 装置 停止 检测 方法 | ||
1.一种检测搬运装置停止的方法,所述搬运装置包括:
一个驱动电机;
以及安装在该驱动电机旋转轴一侧的搬运臂,所述驱动电机根据搬运臂停止时的惯性力所引起的振动产生感应电动势,其特征在于该方法包括:
在所述搬运臂的另一侧保持被搬运物,通过所述驱动电机,使旋转轴仅旋转到规定的旋转角时停止旋转,检测由于搬运臂的振动而产生的所述感应电动势;以及
当所述检出的感应电动势到达小于等于规定值时,判断搬运臂停止。
2.根据权利要求1所述的检测搬运装置停止的方法,其特征在于:所述驱动电机为步进电机。
3.根据权利要求1或2所述的检测搬运装置停止的方法,其特征在于:检测所述感应电动势时,仅仅选择性地抽出特定频率的信号。
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