[发明专利]弹性波装置

权利要求书

1.一种弹性波装置，具有：

基板，其使弹性波传播；

激励电极，其配置在上述基板的第1主面上；

连接线，其配置在上述第1主面上，并且与上述激励电极连接；

保护盖，其具有收容上述激励电极的中空的收容空间，并配置在上述 第1主面上；

两个以上的柱状的外部连接用电极，其配置在上述连接线的端部上； 以及

导体层，其配置在上述保护盖上，并与上述外部连接用电极连接，

上述收容空间在俯视时位于两个外部连接用电极之间，

上述导体层与两个以上的上述外部连接用电极连接，并且在俯视时覆 盖上述收容空间。

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

上述外部连接用电极与基准电位端子电连接。

3.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

上述导体层包括配置在上述保护盖上表面的第1导体层和配置在上述 第1导体层上表面的第2导体层，

上述第1导体层由Ni、Cr、Ti的任一种构成，上述第2导体层由Cu 构成。

4.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

上述保护盖包括：包围上述激励电极的框体和配置在上述框体上的盖 体。

5.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

上述保护盖和上述外部连接用电极由绝缘层进行覆盖。

6.根据权利要求5所述的弹性波装置，其中，

上述绝缘层的侧面以及上述保护盖的侧面由上述导体层进行覆盖。

7.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

上述导体层包含Cu或Ni。

8.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

上述导体层由与上述外部连接用电极相同的材料构成。

9.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

上述导体层具有比上述保护盖的杨氏模量大的杨氏模量。

10.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

还包含柱状的输入输出信号用电极，其与上述激励电极电连接，且配 置成与上述导体层设有间隔。

11.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

上述导体层的厚度是1～50μm。

12.一种弹性波装置，具有：

基板，其使弹性波传播；

激励电极，其配置在上述基板的第1主面上；

柱状的外部连接用电极，其与上述激励电极电连接；

保护盖，其具有收容上述激励电极的中空的收容空间，并配置在上述 第1主面上；

导体层，其配置在上述保护盖上，并与上述外部连接用电极连接；以 及

绝缘层，其覆盖上述外部连接用电极、上述保护盖以及上述导体层，

上述导体层的表面被粗糙化，并且上述表面的算术平均粗糙度是1～ 3μm。