[发明专利]逻辑元件

权利要求书

1.一种逻辑元件，至少包括：

机械振动的振动部；

激励装置，用于以相位差π的第一振动状态和第二振动状态中的任意 一种使所述振动部参变振动；

输入部，接收输入到所述激励装置中的用于参变振动的信号；和

输出部，输出与参变振动的所述振动部的所述第一振动状态和第二 振动状态中的任意一种相对应的信号，

其中使用所述第一振动状态或第二振动状态表示“0”或“1”的二 进制信息，其中

所述振动部包括具有由压电材料形成的压电层的梁，

所述激励装置是所述压电层，

所述输入部是接收用于使所述梁参变振动的交流电压的输入电极， 并且

所述输出部是用于输出基于所述压电材料的压电效应的信号的输出 电极。

2.根据权利要求1所述的逻辑元件，其中所述输入电极包括：

第一电极，选择性接收具有所述梁的共振频率且相位差π的第一交流 电压和第二交流电压，和

第二电极，接收具有为所述梁的所述共振频率两倍的频率的第三交 流电压，以参变激励所述梁。

3.根据权利要求2所述的逻辑元件，还包括：

以预定间隔排成阵列的多个梁；

为各个梁分别设置的所述第二电极；

为所述梁的阵列一端的梁设置的所述第一电极；

为所述梁的阵列的另一端的梁设置的所述输出电极；和

振动耦合装置，用于耦合相邻的梁的振动。

4.根据权利要求3所述的逻辑元件，其中所述振动耦合装置是设置 在相邻梁之间的转移电极。

5.根据权利要求3所述的逻辑元件，其中所述振动耦合装置是部分 连接相邻梁的耦合梁。

6.根据权利要求1所述的逻辑元件，其中所述梁包括：

由第一半导体形成的导电层，和

压电层，所述压电层层叠在所述导电层上，并由导电性比所述第一 半导体低的第二半导体和绝缘体中的任一种形成。

7.根据权利要求6所述的逻辑元件，其中所述梁包括：

所述第一半导体是第一化合物半导体，和

所述第二半导体是带隙比所述第一化合物半导体大的第二化合物半 导体。

8.根据权利要求6所述的逻辑元件，其中所述第二半导体通过异质 外延生长制备。

9.一种逻辑元件，至少包括：

机械振动的振动部；

激励装置，用于以相位差π的第一振动状态和第二振动状态中的任意 一种使所述振动部参变振动；

输入部，接收输入到所述激励装置中的用于参变振动的信号；和

输出部，输出与参变振动的所述振动部的所述第一振动状态和第二 振动状态中的任意一种相对应的信号，

其中使用所述第一振动状态或第二振动状态表示“0”或“1”的二 进制信息，其中所述激励装置包括：

第一激励装置，用于通过向所述振动部施加静电力，激励所述振动 部以相位差π的所述第一振动状态和第二振动状态中的任意一种振动，和

第二激励装置，用于参变激励所述振动部以所述第一振动状态和第 二振动状态中的任意一种振动，和

所述输出部包括输出电极，所述输出电极连接至所述振动部的一端 并输出与所述振动部的振动相对应的信号。

10.根据权利要求9所述的逻辑元件，其中所述输入部包括：

第一电极，选择性接收具有所述振动部的共振频率且相位差π的第一 交流电压和第二交流电压，和

第二电极，接收具有为所述振动部的所述共振频率两倍的频率的第 三交流电压，以参变激励所述振动部。