[发明专利]载热体加热冷却装置以及载热体温度控制方法

权利要求书

1.一种载热体加热冷却装置，包括：反应槽，其温度被载 热体所控制；载热体加热部，其通过使上述载热体与热流体进 行间接热交换来加热上述载热体；载热体冷却部，其通过使上 述载热体与冷流体进行间接热交换来冷却上述载热体；以及使 载热体在上述反应槽、载热体加热部以及载热体冷却部中进行 循环的循环泵和路径，

该载热体加热冷却装置具备：

支路路径，其迂回上述载热体加热部；

切换阀，其将上述载热体的流动切换到载热体加热部和支 路路径；

反应槽温度测量单元，其测量上述反应槽的当前温度；

载热体温度测量单元，其测量提供给上述反应槽的载热体 的温度；

目标温度设定单元，其设定上述反应槽的目标温度；

稳定温度幅度设定单元，其将上述当前温度与上述目标温 度的差的允许范围设定为稳定温度幅度；

控制切换温度设定单元，其设定当上述当前温度与上述目 标温度的差在上述稳定温度幅度的范围内时切换冷却控制和加 热控制的控制切换温度；

稳定温度判断单元，其判断上述当前温度与上述目标温度 的温度差是否在上述稳定温度幅度的范围内；

第一判断单元，其在上述温度差在上述稳定温度幅度的范 围内时，将上述目标温度与上述控制切换温度进行比较来判断 在上述稳定温度幅度的范围内实施加热控制以及冷却控制中的 哪一个；

第二判断单元，其在上述温度差不在上述稳定温度幅度的 范围内时，将上述目标温度与上述当前温度进行比较来判断为 了达到上述目标温度实施加热控制以及冷却控制中的哪一个；

加热控制部，其在上述第一判断单元或者上述第二判断单 元的判断结果为加热控制时，使上述载热体加热部进行动作来 加热上述载热体；以及

冷却控制部，其在上述第一判断单元或者上述第二判断单 元的判断结果为冷却控制时，使上述载热体冷却部进行动作来 冷却上述载热体。

2.根据权利要求1所述的载热体加热冷却装置，其特征在 于，

上述载热体温度测量单元是两对式温度检测器，检测温度 信号分别被输出到上述加热控制部以及上述冷却控制部。

3.根据权利要求1所述的载热体加热冷却装置，其特征在 于，

上述反应槽温度测量单元测量上述反应槽内的温度、导入 到上述反应槽的温度调整部的上述载热体的温度以及从上述反 应槽的温度调整部导出的上述载热体的温度中的至少一个温 度。

4.根据权利要求1所述的载热体加热冷却装置，其特征在 于，

上述切换阀在上述冷却控制部对上述载热体进行冷却控制 时将载热体的流动切换到上述支路路径。

5.一种载热体加热冷却装置中的载热体温度控制方法，对 权利要求1至4中的任一项所述的载热体加热冷却装置中的载热 体的温度进行控制，该方法的特征在于，

在反应槽的当前温度与反应槽的目标温度的温度差在预先 设定的稳定温度幅度的范围内时，将上述目标温度与预先设定 的控制切换温度进行比较，并在上述稳定温度幅度的范围内实 施加热控制以及冷却控制中的某一个；

在反应槽的当前温度与反应槽的目标温度的温度差不在预 先设定的稳定温度幅度的范围内时，将上述目标温度与上述当 前温度进行比较，并为了达到上述目标温度而实施加热控制以 及冷却控制中的某一个。