[发明专利]电化学涂覆设备的电网的电流控制装置无效
申请号: | 200880108086.2 | 申请日: | 2008-09-10 |
公开(公告)号: | CN101835926A | 公开(公告)日: | 2010-09-15 |
发明(设计)人: | G·海德 | 申请(专利权)人: | 西门子公司 |
主分类号: | C25D19/00 | 分类号: | C25D19/00;C25D21/12 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 张涛;李家麟 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电化学 设备 电网 电流 控制 装置 | ||
1.一种用于电化学涂覆设备的电网(2)的电流控制装置(1),所述电网(2)包括多个阳极(5)和多个阴极(3),所述电流控制装置(1)具有多个能够互相独立地控制的控制模块(6),其中每个控制模块(6)被构造为用于形成和控制作为电网(2)的阳极(5)和阴极(3)之间的位置函数和时间函数的预先规定大小的局部电流。
2.根据权利要求1所述的电流控制装置(1),其中一个或每个控制模块(6)包括具有多个变流器(8,9)的电路装置(7)。
3.根据权利要求2所述的电流控制装置(1),其中一个或每个变流器(8,9)与电网(2)的多个阳极(5)或阴极(3)相连接。
4.根据权利要求2或3所述的电流控制装置(1),其中将一个或每个变流器(8,9)电路装置(7)实现为受控整流器(8)与不控制整流器(9)的串联电路(7)。
5.根据权利要求4所述的电流控制装置(1),其中将一个或每个受控整流器(8)实现为晶体管桥式电路(8),和/或将一个或每个不控制整流器(9)实现为二极管桥式电路(9)。
6.根据权利要求2至5之一所述的电流控制装置(1),其中一个或每个控制模块(6)与多个绝缘变压器(10,11)相连接。
7.根据权利要求5和6所述的电流控制装置(1),其中一个或每个受控整流器(8)分别与一个绝缘变压器(10)相连接,并且一个或每个二极管桥式电路(9)分别与一个另外的绝缘变压器(11)相连接。
8.根据权利要求1至7之一所述的电流控制装置(1),其中在一个或每个控制模块(6)和相应的多个阳极(5)之间构造有退耦电路(12),该退耦电路(12)包括多个串联的二极管(13,14),所述二极管(13,14)分别在导通方向上各与一个阳极(5)相连接。
9.根据权利要求8所述的电流控制装置(1),其中所述退耦电路(12)包括第一二极管(13)与第二二极管(14)的串联电路,该第一二极管(13)与第二二极管(14)分别在导通方向上与第一阳极(5)和/或第二阳极(5)相连接,其中所述第一二极管(13)在阻断方向上经由开关元件(15)和电感(16)与控制模块(6)相连接,并且所述第二二极管(14)在阻断方向上与第一二极管(13)、与第一阳极(5)和与平滑电容器(17)相连接。
10.根据权利要求1至9之一所述的电流控制装置(1),其中设置有具有模拟模型的计算单元,用于模拟电压给定和/或电流给定。
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