[发明专利]幅片厚度测量设备

权利要求书

1.一种用于监视移动幅片的厚度的感测器，所述感测器包括：

第一感测器头，定位于所述移动幅片的第一面上；

第二感测器头，定位于所述移动幅片的与所述第一面相对的第二面上；

环形电感器，定位于所述第一感测器头或者第二感测器头中并且包括铁氧体杯形磁芯和绕组；

接触板，固定到所述第二感测器头，并且适合于接触所述移动幅片的所述第二面；

靶板，与所述电感器相对地固定到所述第一感测器头或者所述第二感测器头，其中所述电感器适合于测量与所述靶板的距离；

光学感测器探头，定位于所述第一感测器头中，并且包括具有轴向色差的物镜，所述物镜与所述电感器同轴，所述光学感测器适合于使用共焦色像差来测量与所述移动幅片的所述第一面的距离；

至少一个导向杆，定位于所述第一感测器头，将空气向下引向所述幅片，所述导向杆与所述幅片不接触；

在所述第二感测器头上的处于所述靶板外围的槽，经过所述槽向上和向外引导空气；以及

其中所述槽位于所述至少一个导向杆向内。

2.根据权利要求1所述的感测器，还包括经过光纤线缆来与所述物镜连通的光源，反射信号经过所述光纤线缆由光谱仪接收。

3.根据权利要求2所述的感测器，其中所述光谱仪分析所述反射信号并且计算光学距离值。

4.根据权利要求3所述的感测器，还包括适合于从所述电感器接收信号并且将所述信号转换成电感器距离值的电子设备，所述电感器距离值从所述光学距离值中被减去以输出表明所述移动幅片的厚度的测量。

5.根据权利要求3所述的感测器，其中所述反射信号包括谱宽度，所述光谱仪适合于根据所述谱宽度来计算所述幅片的物理性质。

6.根据权利要求5所述的感测器，其中所述谱宽度与所述移动幅片的表面粗糙度相关。

7.根据权利要求5所述的感测器，其中所述谱宽度与所述移动幅片的柔软度相关。

8.根据权利要求5所述的感测器，其中所述谱宽度与所述移动幅片的运转性相关。

9.根据权利要求5所述的感测器，其中所述谱宽度与所述移动幅片的孔隙度相关。

10.根据权利要求5所述的感测器，其中所述谱距离与沉积于所述移动幅片上的透明膜的涂层厚度相关。

11.根据权利要求5所述的感测器，其中所述谱宽度与所述移动幅片的光泽度等效参数相关。

12.根据权利要求11所述的感测器，其中从所述感测器头到所述移动幅片的第一面的距离由所述光谱仪使用共焦色像差确定。

13.根据权利要求1所述的感测器，其中所述第二感测器头包括多个吸槽，所述吸槽延伸经过所述接触板并且与位于所述接触板之下的真空室连通，空气由真空生成器从所述真空室吸引。

14.根据权利要求1所述的感测器，其中所述第二感测器头包括居中定位于所述接触板并且与所述物镜轴向对准的光学参考体，所述光学参考体被定位成比所述接触板更接近所述第一感测器。

15.根据权利要求14所述的感测器，其中所述接触板包括与所述光学参考体间隔开的多个吸槽。

16.根据权利要求15所述的感测器，其中所述多个吸槽定位于所述靶板上，从而所述移动幅片在接触所述光学参考体之前横穿所述多个吸槽中的至少两个吸槽。

17.根据权利要求14所述的感测器，还包括：

第二感测器头，定位于所述移动幅片的与所述第一面相对的第二面上；

环形电感器，定位于所述第一感测器头或者第二感测器头中并且包括铁氧体杯形磁芯和绕组；

接触板，固定到所述第二感测器头，并且适合于接触所述移动幅片的所述第二面；以及

靶板，与所述电感器相对地固定到所述第一感测器头或者所述第二感测器头，其中所述电感器适合于测量与所述靶板的距离。

18.根据权利要求1所述的感测器，还包括适合于承载所述接触板的框架以及适合于相对于所述第一感测器头有选择地移动所述框架的线性致动器。