[发明专利]制备高纯度六氯乙硅烷的方法有效
| 申请号： | 200880108573.9 | 申请日： | 2008-10-07 |
| 公开（公告）号： | CN101815672A | 公开（公告）日： | 2010-08-25 |
| 发明（设计）人： | W·克尼斯;K·伯格尔沙森;H·艾博迈尔 | 申请（专利权）人： | 瓦克化学股份公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 过晓东 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 制备 纯度 六氯乙 硅烷 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种通过蒸馏包含六氯乙硅烷的混合物制备六氯乙硅烷的方法，其 特征在于，在蒸馏中水的存在量不超过10ppbw以重量计十亿分之一份，所 述包含六氯乙硅烷的混合物除了六氯乙硅烷外还可以包含四氯硅烷以及可 能的痕量的三氯硅烷，在氯硅烷混合物中如果含有硅烷醇，则其含量仅最 多＜1ppbw。
2.权利要求1所述的方法，其特征在于，所述包含六氯乙硅烷的混合 物是在多晶硅沉积中得到的工业废气。
3.权利要求1-2之一所述的方法，其特征在于，所述蒸馏是在标准压 力或最小程度的加压下进行。
4.权利要求1-3之一所述的方法，其特征在于，水的存在量不超过 5ppbw。
5.权利要求1-4之一所述的方法，其特征在于，水的存在量不超过 1ppbw。
6.权利要求1-5之一所述的方法，其特征在于，不存在水。
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