[发明专利]钟表用护罩玻璃

权利要求书

1.一种钟表用护罩玻璃，其特征在于，其在具有正面和背 面的透明基材的至少单面上具备防反射膜，该防反射膜交替层 叠有4层或5层以上的SiO₂和Si₃N₄的混合膜与Si₃N₄膜，且最表面 层为SiO₂和Si₃N₄的混合膜，所述混合膜中，相对于氧和氮的总 量的氮的含量为5～90原子％。

2.根据权利要求1所述的钟表用护罩玻璃，其特征在于， 所述防反射膜通过从所述基材向最表面层将所述混合膜与所述 Si₃N₄膜以该顺序交替层叠而成。

3.根据权利要求1所述的钟表用护罩玻璃，其特征在于， 所述防反射膜通过从所述基材向最表面层将所述Si₃N₄膜与所 述混合膜以该顺序交替层叠而成。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的钟表用护罩玻璃，其 特征在于，所述防反射膜中，所述交替层叠的层数为4～12层。

5.根据权利要求1～3中任一项所述的钟表用护罩玻璃，其 特征在于，所述混合膜的厚度为平均每1层0.01～1.0μm，所述 Si₃N₄膜的厚度为平均每1层0.01～1.2μm。

6.根据权利要求1～3中任一项所述的钟表用护罩玻璃，其 特征在于，所述防反射膜的厚度为0.1～4.0μm。

7.根据权利要求1～3中任一项所述的钟表用护罩玻璃，其 特征在于，所述防反射膜层叠于所述正面和背面这两面上。

8.根据权利要求1～3中任一项所述的钟表用护罩玻璃，其 特征在于，所述防反射膜通过反应性溅射法而形成。

9.一种钟表用护罩玻璃的制造方法，其特征在于，其为在 具有正面和背面的透明基材的至少单面上具备防反射膜的钟表 用护罩玻璃的制造方法，

该方法包括通过反应性溅射法而形成所述防反射膜的防反 射膜形成工序，该防反射膜交替层叠有4层或5层以上的SiO₂和 Si₃N₄的混合膜与Si₃N₄膜，且最表面层为SiO₂和Si₃N₄的混合膜， 所述混合膜中，相对于氧和氮的总量的氮的含量为5～90原子％。

10.根据权利要求9所述的钟表用护罩玻璃的制造方法，其 特征在于，所述防反射膜通过从所述基材向最表面层将所述混 合膜与所述Si₃N₄膜以该顺序交替层叠而成。

11.根据权利要求9所述的钟表用护罩玻璃的制造方法，其 特征在于，所述防反射膜通过从所述基材向最表面层将所述 Si₃N₄膜与所述混合膜以该顺序交替层叠而成。

12.根据权利要求9～11中任一项所述的钟表用护罩玻璃的 制造方法，其特征在于，所述反应性溅射法在至少包含含氮气 体和惰性气体的混合气体的存在下，以Si靶材为原料，通过直 流脉冲放电式来进行。

13.根据权利要求9～11中任一项所述的钟表用护罩玻璃的 制造方法，其特征在于，所述防反射膜中，所述交替层叠的层 数为4～12层。

14.根据权利要求10～11中任一项所述的钟表用护罩玻璃 的制造方法，其特征在于，所述混合膜的厚度为平均每1层 0.01～1.0μm，所述Si₃N₄膜的厚度为平均每1层0.01～1.2μm。