[发明专利]ZnO蒸镀材料和其制造方法、和ZnO膜有效
| 申请号： | 200880108823.9 | 申请日： | 2008-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN101809186A | 公开（公告）日： | 2010-08-18 |
| 发明（设计）人： | 黛良享 | 申请（专利权）人： | 三菱综合材料株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C04B35/453;C04B38/02;C04B38/06;C04B38/10;C23C14/34;H01B5/14 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 蔡晓菡;孙秀武 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | zno 材料 制造 方法 | ||
【权利要求书】：
1.ZnO蒸镀材料，其用于形成透明导电膜，其包含ZnO多孔烧 结体，该烧结体含有Ce和Al，Ce含量比Al含量多，Ce含量在0.1～ 14.9质量％的范围，Al含量在0.1～10质量％的范围，且该烧结体具 有3～50％的孔隙率。
2.ZnO蒸镀材料的制造方法，其具有下述工序：(I)将纯度为98 ％以上的ZnO粉末、使ZnO蒸镀材料中Ce含量为0.1～14.9质量％ 的量的CeO2粉末、使ZnO蒸镀材料中Al含量为0.1～10质量％的量 的Al2O3粉末、粘合剂、和有机溶剂进行混合，调制浓度为30～75 质量％的浆料的工序、(II)在该浆料中吹入气体而得到含有气体的浆料 的工序、(III)将该含有气体的浆料进行喷雾干燥，得到平均粒径为50～ 300μm的多孔造粒粉末的工序、(IV)将该多孔造粒粉末成型来得到多 孔成型体的工序、和(V)将该多孔成型体在规定温度下进行烧结而得到 ZnO多孔烧结体的工序。
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