[发明专利]具有两个螺旋形转子的真空泵

权利要求书

1.一种真空泵，包括：

外壳，所述外壳限定两个平行的圆柱形腔，所述两个平行的圆柱形腔横向地重叠，所述两个平行的圆柱形腔由圆柱形外周面和端部横向面限定，并具有限定纵向方向的相应的轴线，并且所述端部横向面限定横向方向；

入口通道和出口通道，所述入口通道和出口通道分别在两个位置处穿过所述外壳，

所述入口通道使用入口孔与所述外壳的内部连通，所述入口孔设置在第一端部横向面中，

所述出口通道使用出口孔与所述外壳的内部连通，所述出口孔大致设置在第二端部横向面中；

两个转子，每个转子设置成能够在相应的圆柱形腔内旋转，所述转子具有联锁的互补叶片转子体和转子轴，

每个转子的每个叶片具有径向跨度表面，所述径向跨度表面以密封的方式与相应的圆柱形腔的圆柱形外周面协作，所述转子体具有第一和第二横跨表面，第一和第二横跨表面中的每个以密封的方式与相应的腔端部横向面协作，

每个转子体具有围绕纵向轴线的螺旋形扭曲部，所述螺旋形扭曲部在所述第一横跨表面和第二横跨表面之间，

每个转子通过转子引导装置被保持悬置，前述转子引导装置位于所述转子体的沿泵抽流体的流动方向的下游，所述泵在转子体的上游装备有转子引导装置，

其中转子的两个主体中的每个具有罗茨横向剖面，并且设计成具有在转子的第一横跨表面和转子的第二横跨表面之间的90°转向螺旋形扭曲部，所述入口孔沿转子的轴线限定的平面的第一侧定位，并且所述出口孔根据转子的轴线限定的平面的第二侧定位。

2.根据权利要求1所述的真空泵，其中所述转子体的全高与直径之间的比值小于1。

3.根据前述权利要求中的任一项所述的真空泵，其中每个转子体包括两个叶片。

4.根据前述权利要求中的任一项所述的真空泵，其中每个转子体包括至少三个叶片。

5.根据前述权利要求中的任一项所述的真空泵，其中每个转子轴包括在相应的驱动轴的端部处的相应的下游固定转子同轴轴。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的真空泵，包括电机，所述电机安装在引导装置之间的驱动轴中的一个上。

7.根据权利要求1-5中任一项所述的真空泵，包括两个同步电机，每个同步电机安装在引导装置之间的相应的驱动轴上。

8.一种用于产生和保持设备内的真空的泵抽系统，包括：

主泵，所述主泵具有主吸入口和主排出口；

辅助泵，所述辅助泵具有辅助吸入口和辅助排出口，所述辅助吸入口通过入口导管连接到设备出口，所述辅助排出口通过中间导管连接到所述主吸入口，

其中，

所述辅助泵是如权利要求1-7中任一项所限定的类型的单级泵，

所述辅助泵紧靠所述设备定位，

所述主泵远离所述设备。

9.根据权利要求8所述的泵抽系统，其中所述辅助吸入口设置在设备出口的对面，并且所述入口导管将辅助吸入口直接连接到所述设备的出口。

10.根据权利要求9和10中任一项所述的泵抽系统，包括命令和动力装置，用于控制辅助泵以便在速度范围内调节它的速度，从而能够通过排出压力来实现吸入压力的优化控制。

11.根据权利要求9至11中任一项所述的泵抽系统，包括阀，所述阀放置在辅助泵的排出口处，所述命令和动力装置对所述辅助泵的速度和/或对所述阀的开度起作用，以便调节设备内的压力。