[发明专利]高压电连接线无效
| 申请号： | 200880109664.4 | 申请日： | 2008-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN101965757A | 公开（公告）日： | 2011-02-02 |
| 发明（设计）人： | D·M·沃德雷万格;J·W·尼夫;C·梅茨马克 | 申请（专利权）人： | 皇家飞利浦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H05G2/00 | 分类号： | H05G2/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 李静岚;谭祐祥 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 高压电 连接线 | ||
1.一种特别用于把气体放电源电连接到高压电源的高压电连接线，所述连接线(11)由通过电绝缘层(1)分隔开的两个导电板(2)的层叠形成，
其中，在所述绝缘层(1)与所述导电板(2)之间设置导电层(8)，所述导电层(8)的材料的电阻率高于所述导电板(2)的材料的电阻率。
2.根据权利要求1的连接线，
其中，所述绝缘层(1)在至少两个相对侧上越过所述导电板(2)伸出第一距离。
3.根据权利要求2的连接线，
其中，所述导电层(8)在所述至少两个相对侧上越过所述导电板(2)伸出第二距离，所述第二距离小于所述第一距离。
4.根据权利要求1或3的连接线，
其中，所述导电层(8)被施加到所述绝缘层(1)。
5.根据权利要求1的连接线，
其中，所述导电层(8)的表面电阻处于100Ω/平方到100kΩ/平方之间。
6.根据权利要求1的连接线，
其中，所述导电层(8)是溅射层。
7.根据权利要求6的连接线，
其中，所述导电层(8)由部分氧化的金属层形成。
8.根据权利要求1的连接线，
其中，所述导电层(8)的厚度处于100到1000nm之间。
9.根据权利要求1的连接线，
其中，所述绝缘层(1)由绝缘箔的层叠形成。
10.一种特别用于生成EUV辐射和/或软X射线的气体放电源，其具有用于生成气体放电的至少两个相对电极(13)，所述电极(13)通过根据权利要求1的连接线(11)连接到高压电源。
11.根据权利要求10的气体放电源，
其中，所述高压电源包括电容器组(9)。
12.根据权利要求11的气体放电源，
其中，所述连接线(11)与所述电容器组(9)合并，所述导电板(2)连接到所述电容器组(9)的各电容器(12)的电容器板。
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