[发明专利]有机电致发光元件、有机电致发光元件制造方法无效
申请号: | 200880110615.2 | 申请日: | 2008-09-26 |
公开(公告)号: | CN101816081A | 公开(公告)日: | 2010-08-25 |
发明(设计)人: | 根岸敏夫 | 申请(专利权)人: | 株式会社爱发科 |
主分类号: | H01L51/50 | 分类号: | H01L51/50;G09F9/30;H01L27/32;H05B33/10;H05B33/26;H05B33/28 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 何欣亭;王忠忠 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 有机 电致发光 元件 制造 方法 | ||
技术领域
本发明涉及有机电致发光元件的技术领域,尤其涉及制造适合于顶部发光(top emission)型有机电致发光(有机EL)元件的显示装置的技术。
背景技术
在图6的符号101示出传统有机电致发光元件。
该有机电致发光元件101具有基板102,在基板102上依次形成有阳极电极层103、空穴注入层104、有机发光部105、电子注入层106和阴极电极层107。
在阳极电极层103与阴极电极层107施加正电压与负电压时,从空穴注入层104注入至有机发光部105的空穴和从电子注入层106注入至有机发光部105的电子,在有机发光部105内部再结合,有机发光部105发光。
在顶部发光型有机电致发光元件的情况下,阳极电极层103由反射率高的物质构成,阴极电极层107由透射率高的物质构成,从有机发光部105朝着阴极电极层107方向发射的光,透射有机发光部105,射出到有机电致发光元件101的外部,并且朝着阳极电极层103方向发射的光,通过阳极电极层103反射,透射有机发光部105或阴极电极层107而发射到外部。
因此,在顶部发光型有机电致发光元件中,对于阴极电极层107除了要求高透射率之外,为了使面内均匀地发光而需要使电流在面内均匀地流动,所以还要求低电阻性。
满足这种要求的电极材料有MgAg合金的薄膜,通过蒸镀法,从Mg蒸气产生源与Ag蒸气产生源分别释放Mg蒸气与Ag蒸气,使它们一起到达电子注入层106的表面,形成由MgAg合金构成的阴极电极层107。
但是,虽然在图6中进行了省略,但实际的有机电致发光元件101的表面,有着台阶差(段差),在蒸镀法中阶梯覆盖率(stepcoverage)较差,所以有着在成为台阶差凸部的阴影部分的阴极电极层107产生断线的问题。
另一方面,将MgAg标靶进行溅镀,形成MgAg薄膜时,电子注入层106暴露于氩等离子体。
电子注入层106是Li(锂)、LiF(氟化锂)、氟化铯CsF等的电子注入性材料非常薄的膜,有着暴露于等离子体时,则进行溅镀,而从有机发光部105上消失的问题。
使用MgAg薄膜的有机电致发光元件例如记载于以下文献。
专利文献1:日本特开2006-344497号公报
专利文献2:日本特开2004-327414号公报
专利文献3:日本特开2001-217074号公报
发明内容
本发明为了解决上述传统技术的问题而构思,其目的在于提供能够利用溅镀法来在电子注入层上形成MgAg膜的技术。
为了解决上述课题,本发明的有机电致发光元件是顶部发光型有机电致发光元件,构成为包括:阳极电极层;配置于所述阳极电极层上的空穴注入层;配置于所述空穴注入层上的有机发光部;配置于所述有机发光部上的电子注入层;以及配置于所述电子注入层上的阴极电极层,在所述阳极电极层与所述阴极电极层施加电压,空穴与电子从所述空穴注入层与所述电子注入层注入到所述有机发光部时,所述有机发光部发光,使透射所述阴极电极层的光发射到外部,其中,所述电子注入层由电子输送性的有机薄膜和分散于所述有机薄膜的电子注入性材料的微粒构成,所述阴极电极层由含有Mg和Ag的合金层形成。
另外,本发明的有机电致发光元件,其中,所述阴极电极层中含有的Ag对于Ag和Mg的合计100重量份而言,在20重量%以下或70重量%以上的范围。
另外,本发明的有机电致发光元件,其中,所述电于注入层的电子注入性材料为Li、LiF、或CsF。
另外,本发明的有机电致发光元件,其中,所述电子注入层配置成与所述有机发光部接触,所述有机发光部的与所述电子注入层接触的部分由与所述电子注入层的所述有机薄膜相同的材料构成。
另外,本发明的有机电致发光元件,其中,构成所述有机薄膜的有机材料为Alq3。
另外,本发明的有机电致发光元件,其中,构成所述有机电致发光层的母材有机材料的蒸气和所述电子注入性材料的蒸气一起到达成膜对象物上,形成所述电子注入层。
另外,本发明的有机电致发光元件,其中,所述阴极电极层是溅镀含有Mg和Ag的合金标靶而形成。
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