[发明专利]气体精制方法无效
| 申请号： | 200880110834.0 | 申请日： | 2008-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN101820971A | 公开（公告）日： | 2010-09-01 |
| 发明（设计）人： | 宫泽让;小林芳彦;原谷贤治;吉宗美纪 | 申请（专利权）人： | 大阳日酸株式会社;独立行政法人产业技术综合研究所 |
| 主分类号： | B01D53/22 | 分类号： | B01D53/22;B01D69/04;B01D69/08;B01D71/02;C01B7/00;C01C1/02 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 王琦;王珍仙 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 气体 精制 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种气体精制方法，该方法具有：
使用具有分子筛作用的碳膜对选自由氢化物气体、卤化氢气体和卤素气 体构成的组中的至少一种的精制对象气体以及杂质进行分离的工序，
所述精制对象气体含有10ppm以下的杂质。
2.根据权利要求1所述的气体精制方法，所述碳膜为中空丝状或管状。
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