[发明专利]用于涡轮分子泵的多级泵转子有效

专利信息
申请号: 200880110893.8 申请日: 2008-09-19
公开(公告)号: CN101828040A 公开(公告)日: 2010-09-08
发明(设计)人: 海因里希·恩伦德尔 申请(专利权)人: 厄利孔莱博尔德真空技术有限责任公司
主分类号: F04D19/04 分类号: F04D19/04;F04D29/64;F04D29/32
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 魏金霞;田军锋
地址: 德国*** 国省代码: 德国;DE
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摘要:
搜索关键词: 用于 涡轮 分子 多级 转子
【权利要求书】:

1.一种用于涡轮分子泵的多级泵转子(10;40),所述泵转子包括:

至少两个分开的叶片盘环(17,17′),所述叶片盘环分别具有转子环 (12)和至少一个叶片盘(14),以及

圆筒形的增强管(18),所述增强管(18)设置在相邻的叶片盘环 (17,17′)的叶片盘(14)之间并且无间隙地在外侧围绕所述叶片盘环(17,17′) 的转子环(12)。

2.如权利要求1所述的用于涡轮分子泵的多级泵转子(10;40),其特征 在于,所述增强管(18)的材料不同于所述叶片盘环(17)的材料。

3.如权利要求2所述的用于涡轮分子泵的多级泵转子(10;40),其特征 在于,所述增强管(18)的材料为碳纤维增强塑料。

4.如权利要求1所述的用于涡轮分子泵的多级泵转子(10;40),其特征 在于,至少一个叶片盘环(17)包括唯一的叶片盘(14)。

5.如权利要求1所述的用于涡轮分子泵的多级泵转子(10;40),其特征 在于,所述叶片盘环轴向夹紧在两个转子轴夹紧体(20,22)之间。

6.如权利要求1所述的用于涡轮分子泵的多级泵转子(10;40),其特征 在于,所述叶片盘环(17,17′)的转子环(12)安装在至少一个转子支撑体 (24,26;42,48)上。

7.如权利要求6所述的用于涡轮分子泵的多级泵转子(40),其特征在 于,所述转子支撑体(42,48)至少部分地由碳纤维增强塑料制成。

8.如权利要求1-7中任意一项所述的用于涡轮分子泵的多级泵转子 (10;40),其特征在于,所述泵转子(10;40)包括用于容纳转子轴承的腔体 (38)。

9.一种涡轮分子泵,所述涡轮分子泵包括如权利要求8所述的多级泵 转子(10;40)和转子轴承,其特征在于,所述转子轴承为磁性轴承。

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