[发明专利]用于涡轮分子泵的多级泵转子有效
申请号: | 200880110893.8 | 申请日: | 2008-09-19 |
公开(公告)号: | CN101828040A | 公开(公告)日: | 2010-09-08 |
发明(设计)人: | 海因里希·恩伦德尔 | 申请(专利权)人: | 厄利孔莱博尔德真空技术有限责任公司 |
主分类号: | F04D19/04 | 分类号: | F04D19/04;F04D29/64;F04D29/32 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 魏金霞;田军锋 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 涡轮 分子 多级 转子 | ||
1.一种用于涡轮分子泵的多级泵转子(10;40),所述泵转子包括:
至少两个分开的叶片盘环(17,17′),所述叶片盘环分别具有转子环 (12)和至少一个叶片盘(14),以及
圆筒形的增强管(18),所述增强管(18)设置在相邻的叶片盘环 (17,17′)的叶片盘(14)之间并且无间隙地在外侧围绕所述叶片盘环(17,17′) 的转子环(12)。
2.如权利要求1所述的用于涡轮分子泵的多级泵转子(10;40),其特征 在于,所述增强管(18)的材料不同于所述叶片盘环(17)的材料。
3.如权利要求2所述的用于涡轮分子泵的多级泵转子(10;40),其特征 在于,所述增强管(18)的材料为碳纤维增强塑料。
4.如权利要求1所述的用于涡轮分子泵的多级泵转子(10;40),其特征 在于,至少一个叶片盘环(17)包括唯一的叶片盘(14)。
5.如权利要求1所述的用于涡轮分子泵的多级泵转子(10;40),其特征 在于,所述叶片盘环轴向夹紧在两个转子轴夹紧体(20,22)之间。
6.如权利要求1所述的用于涡轮分子泵的多级泵转子(10;40),其特征 在于,所述叶片盘环(17,17′)的转子环(12)安装在至少一个转子支撑体 (24,26;42,48)上。
7.如权利要求6所述的用于涡轮分子泵的多级泵转子(40),其特征在 于,所述转子支撑体(42,48)至少部分地由碳纤维增强塑料制成。
8.如权利要求1-7中任意一项所述的用于涡轮分子泵的多级泵转子 (10;40),其特征在于,所述泵转子(10;40)包括用于容纳转子轴承的腔体 (38)。
9.一种涡轮分子泵,所述涡轮分子泵包括如权利要求8所述的多级泵 转子(10;40)和转子轴承,其特征在于,所述转子轴承为磁性轴承。
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