[发明专利]用于金属的化学机械抛光的浆料组合物以及使用其的抛光方法

权利要求书

1.一种用于金属的化学机械抛光（CMP）的浆料前体组合物， 包括：液体载体、研磨剂、络合剂、腐蚀抑制剂以及共聚物， 其中，所述共聚物具有632,111至945,281的重均分子量并且 包括共聚合比为10:90至80:20的丙烯酸和丙烯酰胺单体，其 中由所述浆料前体组合物制备的浆料组合物呈现出非普列斯 东行为。

2.根据权利要求1所述的浆料前体组合物，其中，所述共聚物的 重均分子量使用作为分子量标准的支链淀粉与含水移动相通 过凝胶渗透层析（GPC）来确定。

3.根据权利要求1所述的浆料前体组合物，其中，基于所述液体 载体和溶解或悬浮在其中的任何其它组分的重量，所述共聚物 以按重量计0.001%至1%的量存在。

4.根据权利要求1所述的浆料前体组合物，其中，所述研磨剂为 氧化铝或硅石。

5.根据权利要求1所述的浆料前体组合物，其中，基于所述液体 载体和溶解或悬浮在其中的任何其它组分的重量，所述研磨剂 以按重量计0.1%至20%的量存在。

6.根据权利要求1所述的浆料前体组合物，其中，所述络合剂选 自由羰基化合物、醇类、含胺化合物、以及它们的组合组成的 组。

7.根据权利要求1所述的浆料前体组合物，其中，基于所述液体 载体和溶解或悬浮在其中的任何其它组分的重量，所述络合剂 以按重量计0.01%至5%的量存在。

8.根据权利要求1所述的浆料前体组合物，其中，所述腐蚀抑制 剂选自由氨、烷基胺类、氨基酸类、亚胺类、唑类、以及它们 的组合组成的组。

9.根据权利要求1所述的浆料前体组合物，其中，所述腐蚀抑制 剂包括苯并三唑及其衍生物。

10.根据权利要求1所述的浆料前体组合物，其中，所述腐蚀抑制 剂为2,2’-[[(5-甲基-1H-苯并三唑-1-基)-甲基]亚胺基]二-乙醇 与2,2’-[[(4-甲基-1H-苯并三唑-1-基)-甲基]亚胺基]二-乙醇的 异构混合物。

11.根据权利要求1所述的浆料前体组合物，其中，基于所述液体 载体和溶解或悬浮在其中的任何其它组分的重量，所述腐蚀抑 制剂以按重量计0.005%至5%的量存在。

12.根据权利要求1所述的浆料前体组合物，进一步包括pH调节 剂。

13.根据权利要求12所述的浆料前体组合物，其中，所述pH调 节剂选自由氢氧化钠、氢氧化钾、氢氧化铵、碳酸钠、碳酸钾、 硫酸、盐酸、硝酸、磷酸、柠檬酸、磷酸钾、以及它们的组合 组成的组。

14.根据权利要求1所述的浆料前体组合物，进一步包括表面活性 剂。

15.根据权利要求14所述的浆料前体组合物，其中，所述表面活 性剂为两性表面活性剂或非离子型表面活性剂。

16.根据权利要求14所述的浆料前体组合物，其中，基于所述液 体载体和溶解或悬浮在其中的任何其它组分的重量，所述表面 活性剂以按重量计0.01%至5%的量存在。

17.根据权利要求1所述的浆料前体组合物，进一步包括杀生物 剂、或消泡剂、或杀生物剂和消泡剂两者。

18.根据权利要求17所述的浆料前体组合物，其中，所述杀生物 剂为异噻唑啉酮，而所述消泡剂为聚二甲基硅氧烷。

19.根据权利要求17所述的浆料前体组合物，其中，基于所述液 体载体和溶解或悬浮在其中的任何其它组分的重量，所述杀生 物剂以1ppm至50ppm的量存在，而所述消泡剂以40ppm 至140ppm的量存在。

20.根据权利要求1所述的浆料前体组合物，其中，所述液体载体 包括去离子水。

21.根据权利要求1所述的浆料前体组合物，其中，所述络合剂选 自羧酸类及其盐类。