[发明专利]色差共聚焦传感器

权利要求书

1.一种共聚焦成像系统，包括：

基底，所述基底上具有多光子可固化光反应性组合物；

光源，所述光源将具有多种波长的光束发射至所述基底上的组合 物的至少一个区域上；和

检测器，所述检测器检测从所述组合物反射的光的一部分以获得 相对于所述基底的位置信号，其中所述位置信号基于所述多种波长的 光中的聚焦在所述多光子可固化光反应性组合物的表面处的光的波 长。

2.根据权利要求1所述的系统，其中所述位置信号还包括从所述 基底反射的光的强度。

3.根据权利要求1所述的系统，其中所述位置信号还包括从所述 基底反射的光的尺寸。

4.根据权利要求1所述的系统，其中所述检测器包括照相机。

5.根据权利要求1所述的系统，其中所述基底位于可移动工作台 上。

6.根据权利要求1所述的系统，其中所述光源是可移动的。

7.根据权利要求1所述的系统，其中所述光束至少部分地固化所 述多光子可固化光反应性组合物的区域。

8.根据权利要求1所述的系统，还包括从第二光源发出的第二光 束，其中所述第二光束至少部分地固化所述多光子可固化光反应性组 合物的区域。

9.根据权利要求1所述的系统，还包括将所述反射的光引至所 述检测器的纤维光缆。

10.根据权利要求1所述的系统，还包括至少两条可将所述反射 的光引至所述检测器的纤维光缆，其中所述纤维光缆中的至少一条具 有的直径不同于所述纤维光缆中的至少另一条的直径。

11.根据权利要求1所述的系统，其中所述光源包括超速激光。

12.一种共聚焦成像方法，包括：

提供基底，所述基底上具有多光子可固化光反应性组合物；

将包括多种波长的至少一个光束施加至所述组合物的至少一个区 域，其中所述波长中的至少一种具有通过多光子吸收足以至少部分固 化所述多光子可固化光反应性组合物的强度；以及

处理从所述组合物反射的光束的一部分以获得相对于所述基底的 位置信号，其中所述位置信号基于所述多种波长的光中的聚焦在所述 多光子可固化光反应性组合物的表面处的光的波长。

13.根据权利要求12所述的方法，其中所述至少一个光束中的第 一光束包括强度足以至少部分固化所述多光子可固化光反应性组合物 的所述波长中的所述至少一种，并且所述至少一个光束中的第二光束 包括从所述组合物反射以获得相对于所述基底的位置信号的所述光束 的所述一部分。

14.根据权利要求12所述的方法，其中所述至少一个光束中的第 一光束在所述处理步骤之前、之后或之内进行至少部分地固化所述多 光子可固化光反应性组合物的区域以形成固化物。

15.根据权利要求12所述的方法，其中单一光束包括强度足以至 少部分固化所述多光子可固化光反应性组合物的所述波长中的所述至 少一种以及从所述组合物反射以获得相对于所述基底的位置信号的所 述光束的所述一部分。

16.根据权利要求12所述的方法，其中所述位置信号还包括从所 述基底反射的光的强度。

17.根据权利要求12所述的方法，其中所述位置信号还包括从所 述基底反射的光的形状。

18.根据权利要求12所述的方法，其中所述位置信号是从包括纤 维光缆的光学设备获得的。

19.根据权利要求18所述的方法，其中所述光学设备还包括至少 两条纤维光缆和至少两个检测器，其中每条纤维光缆将光引至所述至 少两个检测器中各自的检测器处。

20.根据权利要求12所述的方法，其中施加至少一个光束的步骤 包括将色差引入所述至少一个光束中。