[发明专利]运送基板承载件的方法与设备有效
申请号: | 200880112620.7 | 申请日: | 2008-10-21 |
公开(公告)号: | CN101835698A | 公开(公告)日: | 2010-09-15 |
发明(设计)人: | 维内·K·沙;杰弗里·C·赫金斯 | 申请(专利权)人: | 应用材料股份有限公司 |
主分类号: | B65G15/44 | 分类号: | B65G15/44 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国;钟强 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 运送 承载 方法 设备 | ||
1.一种用于运送基板承载件的输送器设备,包括:
多个带状物部分,用多个T形加劲肋将所述带状物部分迭接在一起,且所述T形加劲肋延伸穿过各个所述带状物部分,其中所述带状物部分沿着所述T形加劲肋的长度的一部分完全地包围所述T形加劲肋;以及
多个支撑轮,适于沿着所述T形加劲肋的表面滚动。
2.如权利要求1所述的输送器设备,其中所述带状物部分包括有弹性的聚合物材料。
3.如权利要求1所述的输送器设备,其中所述带状物部分包括强化拉力构件。
4.如权利要求1所述的输送器设备,其中所述T形加劲肋在沿着X轴的弯曲上比所述带状物部分更具有刚度。
5.如权利要求1所述的输送器设备,其中所述T形加劲肋被模塑至所述带状物中。
6.如权利要求1所述的输送器设备,其中所述T形加劲肋插入到在所述带状物部分中形成的狭缝内。
7.如权利要求1所述的输送器设备,还包括附接至所述T形加劲肋的底端的夹钳件,以将所述T形加劲肋紧固至所述带状物部分。
8.如权利要求1所述的输送器设备,其中所述T形加劲肋延伸超过所述带状物部分的底部。
9.如权利要求1所述的输送器设备,还包括附接至所述T形加劲肋的支架,且所述支架适于支托基板承载件。
10.如权利要求1所述的输送器设备,其中所述T形加劲肋嵌设在所述带状物部分中,且所述带状物部分在其二侧皆包括平滑带状物表面,而多个导引轮可以在所述平滑带状物表面上滚动。
11.如权利要求1所述的输送器设备,其中所述支撑轮接触所述T形加劲肋上的顶冠部的底面。
12.如权利要求1所述的输送器设备,其中所述T形加劲肋的顶冠部包括边缘,且所述边缘形成为相对于与所述支撑轮接触的轮胎线呈一角度。
13.如权利要求1所述的输送器设备,其中多个T形加劲肋容设于形成在所述带状物部分的斜向形成的端部中的狭缝内,以形成迭接接合。
14.一种用于运送基板承载件的输送器设备,包括:
带状物部分,包括多个闭合的狭缝;以及
多个T形加劲肋,在所述闭合的狭缝中延伸。
15.一种形成用于运送基板承载件的输送器设备的方法,包括以下步骤:
提供带状物,其包括多个狭缝;以及
将T形加劲肋容设于所述狭缝中,其中所述带状物沿着所述T形加劲肋的长度完全地包围所述T形加劲肋的至少一部分。
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