[发明专利]真空容器的压力控制方法及压力控制装置

权利要求书

1.一种真空容器的压力控制方法，用于控制真空处理装置的上述真空容器的压力，上述真空处理装置包括连接气体的供给管路和排出管路的真空容器、设置在上述排出管路并能开关该排出管路的真空阀、测量上述真空容器内的压力的压力计以及检测真空阀的阀开度的开度检测器，上述压力控制方法的特征在于，

具有以下步骤：第一步骤，根据由上述开度检测器检测的真空阀的阀开度求出推测排出气体量，基于考虑到该推测排出气体量的气体量，计算求出计算模型上的虚拟真空容器内的压力；

第二步骤，基于在上述第一步骤中求出的计算压力与由上述压力计测量的实际的真空容器的测量压力间的压力差，求出推测流入气体量；和

第三步骤，在上述第二步骤中求出的推测流入气体量上，加上基于作为目标的设定压力与测量压力间的压力偏差而得到的校正气体量，求出设定排出气体量，

并且，在每个规定周期反复执行上述各步骤，

控制上述真空阀的阀开度，以成为上述第三步骤中求出的设定排出气体量，

且在上述第一步骤中，关于在求出虚拟真空容器中的计算压力时使用的气体量，使用通过从第二步骤求出的推测流入气体量减去推测排出气体量而得到的气体流量差。

2.一种真空容器的压力控制装置，用于控制真空处理装置的上述真空容器的压力，上述真空处理装置包括连接气体的供给管路和排出管路的真空容器、设置在上述排出管路并能开关该排出管路的真空阀、测量上述真空容器内的压力的压力计以及检测真空阀的阀开度的开度检测器，上述压力控制装置的特征在于，

具有压力设定部、流入气体量推测部、气体量校正部、加法部以及阀开度计算部，其中，

压力设定部设定真空容器的作为目标的压力；

流入气体量推测部根据由上述开度检测器检测的阀开度求出推测排出气体量，基于考虑到该推测排出气体量的气体量而求出计算模型上的虚拟真空容器内的压力，并且基于该虚拟真空容器的计算压力与自上述压力计的实际的真空容器中的测量压力间的压力差，求出推测流入气体量；

气体量校正部具有压力减法部和比例控制部，压力减法部输入自上述压力设定部的设定压力和自上述压力计的测量压力并求出压力偏差，比例控制部输入由该压力减法部求出的压力偏差并乘以规定增益而求出校正气体量；

加法部将由上述流入气体量推测部求出的推测流入气体量与由上述气体量校正部求出的校正气体量相加，而求出设定排出气体量；

阀开度计算部输入由该加法部得到的设定排出气体量和自上述压力设定部的设定压力，而求出阀开度，

并且，在上述流入气体量推测部中，在每个规定周期执行以下运算，即，基于气体量求出计算模型上的虚拟真空容器内的压力，并且基于该虚拟真空容器的计算压力与自上述压力计的实际的真空容器中的测量压力间的压力差而求出推测流入气体量，

进而，在上述流入气体量推测部中，作为求出虚拟真空容器中的计算压力时使用的气体量，使用通过从推测流入气体量减去推测排出气体量而得到的气体流量差。

3.如权利要求2所述的真空容器的压力控制装置，其特征在于，

流入气体量推测部还包括传导率获取部、乘法部、气体量减法部、压力计算部、压力减法部以及放大部，其中，

传导率获取部基于真空阀的阀开度-传导率的特性曲线，根据检测到的阀开度求出真空阀的传导率；乘法部通过输入由该传导率获取部得到的传导率以及自压力计的测量压力，并使该传导率乘以测量压力，而求出推测排出气体量；气体量减法部从推测流入气体量减去由该乘法部求出的推测排出气体量，而求出气体流量差；压力计算部输入由该气体量减法部求出的气体流量差，并通过计算求出虚拟真空容器内的压力；压力减法部输入由该压力计算部求出的计算压力和自压力计的测量压力，而求出压力差；放大部将由该压力减法部求出的压力差乘以规定增益，而求出推测流入气体量。