[发明专利]干涉仪

权利要求书

1.一种干涉仪，是测定受检物的表面形状或透过波面的干涉仪，其特征在于，具备：

具有低空间相干特性的面光源、

将所述面光源与所述受检物在光学上共轭地配置的导光光学系统。

2.根据权利要求1所述的干涉仪，其特征在于

具备光检测器，其中该光检测器具有配置于与所述受检物在光学上共轭的位置的检测面。

3.根据权利要求2所述的干涉仪，其特征在于

在将所述检测面的有效像素数设为N×M，将在光学上与所述有效像素对应的所述面光源的有效面积设为a×b的情况下，来自下述位置的光不会相互干涉，该位置是所述面光源上相距a/N和b/M中小的一方的长度的位置。

4.根据权利要求1至3中任意一项所述的干涉仪，其特征在于

所述面光源具有多个相互具有低干涉性的面光源。

5.根据权利要求1至4中任意一项所述的干涉仪，其特征在于

所述导光光学系统具有将来自所述面光源的光在所述受检物处聚光的聚光透镜。

6.根据权利要求5所述的干涉仪，其特征在于

所述受检物与所述聚光透镜被构成能够一体地移动。

7.根据权利要求5所述的干涉仪，其特征在于

所述聚光透镜被构成能够沿所述聚光透镜的光轴方向移动。

8.根据权利要求5所述的干涉仪，其特征在于

所述受检物被构成能够沿与所述聚光透镜的光轴方向垂直的方向移动。

9.根据权利要求5所述的干涉仪，其特征在于

所述受检物被构成能够相对于所述聚光透镜的光轴方向倾斜。

10.根据权利要求1至9中任意一项所述的干涉仪，其特征在于

所述面光源被构成能够沿与所述导光光学系统的光轴方向垂直的方向移动。

11.根据权利要求5至10中任意一项所述的干涉仪，其特征在于

所述导光光学系统具有使来自所述面光源的光成为平行光而射入所述聚光透镜的准直透镜。

12.根据权利要求11所述的干涉仪，其特征在于

具有配置在所述聚光透镜与所述准直透镜之间的光路中的光分离元件。

13.根据权利要求5至12中任意一项所述的干涉仪，其特征在于

所述受检物配置于所述聚光透镜的焦点位置。

14.根据权利要求2或3所述的干涉仪，其特征在于

在所述检测面的各像素的前方具备具有比所述像素的面积小的开口的掩模。