[发明专利]机械整合并且紧密连接的印刷头和烟雾源有效

专利信息
申请号: 200880113517.4 申请日: 2008-09-02
公开(公告)号: CN101842165A 公开(公告)日: 2010-09-22
发明(设计)人: 布鲁斯·H·金;格雷戈里·詹姆斯·马克斯;迈克尔·J·雷恩 申请(专利权)人: 奥普托美克公司
主分类号: B05B1/00 分类号: B05B1/00;B05B5/00;C23C16/00;H01L21/44
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 王旭
地址: 美国新*** 国省代码: 美国;US
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摘要:
搜索关键词: 机械 整合 并且 紧密 连接 印刷 烟雾
【权利要求书】:

1.一种用于沉积材料的沉积头,所述沉积头包括:

一个或多个载气进口;

一个或多个雾化器;

气溶胶歧管,其在结构上与所述一个或多个雾化器整合;

一个或多个气溶胶输送导管,其与所述气溶胶歧管流体连接;

包覆气体进口;以及

一个或多个材料沉积出口。

2.权利要求1所述的沉积头,所述沉积头还包括虚拟冲击器和废气出口,所述虚拟冲击器被设置在所述一个或多个雾化器中的至少一个和所述气溶胶歧管之间。

3.权利要求1所述的沉积头,所述沉积头还包括材料的储存器。

4.权利要求3所述的沉积头,所述沉积头还包括用于将未使用的材料从所述气溶胶歧管传输回到所述储存器中的排出管。

5.权利要求3所述的沉积头,所述沉积头还包括材料的外部储存器,该外部储存器可用于选自如下各项中的目的:能够更长时间地运行而不用重新填充,将所述材料保持在所需的温度,将所述材料保持在所需的粘度,将所述材料保持在所需的组成,以及防止粒子的聚集。

6.权利要求1所述的沉积头,所述沉积头还包括包覆气体歧管,所述包覆气体歧管至少同心地包围所述一个或多个气溶胶输送导管的中部。

7.权利要求1所述的沉积头,所述沉积头还包括包覆气体室,该包覆气体室包围每一个包括导管出口在内的气溶胶输送导管的一部分。

8.权利要求7所述的沉积头,其中所述气溶胶输送导管足够长,因而在包覆气体流与气溶胶流于所述包覆气体室的出口处或附近合并之前,所述包覆气体流基本上平行于所述气溶胶流,所述合并是在所述气溶胶流离开所述导管出口之后进行的。

9.权利要求1所述的沉积头,其中所述沉积头是可更换的。

10.权利要求9所述的沉积头,所述沉积头还包括在安装之前预先填充有材料的材料储存器。

11.权利要求9所述的沉积头,其中所述沉积头是一次性的或可再填充的。

12.权利要求1所述的沉积头,其中所述一个或多个雾化器中的每一个雾化不同的材料。

13.权利要求12所述的沉积头,其中所述不同的材料不混合和/或反应,直到在即将沉积之前或沉积期间。

14.权利要求12所述的沉积头,其中要被沉积的材料的比率是可控的。

15.权利要求12所述的沉积头,其中所述雾化器是同时运行的,或所述雾化器中的至少2个是在不同时间运行的。

16.一种用于三维材料沉积的装置,所述装置包括沉积头和雾化器,其中所述沉积头和雾化器在三个线性维度上一起移动,并且其中所述沉积头是可倾斜的,而所述雾化器不是可倾斜的。

17.权利要求16所述的材料沉积装置,所述材料沉积装置可用于将所述材料沉积在结构体的外部、内部和/或下面。

18.权利要求16所述的材料沉积装置,所述材料沉积装置被构造成使得所述沉积头可延伸到窄的通道内。

19.一种用于沉积材料的方法,所述方法包括如下步骤:

雾化第一材料以形成第一气溶胶;

雾化第二材料以形成第二气溶胶;

将所述第一气溶胶和第二气溶胶合并;

用环状的包覆气体流包围合并的气溶胶;

将所述合并的气溶胶集中;以及

沉积所述气溶胶。

20.权利要求19所述的方法,其中所述的雾化步骤同时或依次进行。

21.权利要求19所述的方法,所述方法还包括改变这些气溶胶的至少一种中的材料的量的步骤。

22.权利要求19所述的方法,其中所述雾化步骤包括使用不同设计的雾化器。

23.权利要求19所述的方法,所述方法还包括沉积复合结构体的步骤。

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