[发明专利]流体喷射装置

权利要求书

1.一种流体喷射装置(12/12′/12″)，包括：

流体室(122)，其具有第一侧壁(124)和第二侧壁(124)；

柔性隔膜(130)，其在该流体室之上延伸且被支撑在所述第一侧壁的端部(126)和所述第二侧壁的端部(126)；

致动器(140)，其被提供在该柔性隔膜上，该致动器适于使该柔性隔膜相对于该流体室挠曲；

被提供在该柔性隔膜和所述第一侧壁的端部之间的第一间隙(150/150′)，和被提供在该柔性隔膜和所述第二侧壁的端部之间的第二间隙(150/150′)；以及

顺应材料(160)，其被提供在所述第一间隙内和所述第二间隙内。

2.权利要求1的流体喷射装置，还包括：

从柔性隔膜和第一侧壁的端部之一延伸的第一支撑物(128/138)，以及从柔性隔膜和第二侧壁的端部之一延伸的第二支撑物(128/138)，

其中该柔性隔膜由第一支撑物支撑在第一侧壁的端部且由第二支撑物支撑在第二侧壁的端部，且

其中在柔性隔膜和第一侧壁的端部之间邻近第一支撑物提供第一间隙，以及在柔性隔膜和第二侧壁的端部之间邻近第二支撑物提供第二间隙。

3.权利要求2的流体喷射装置，还包括：

被提供在第一支撑物和第一间隙内的顺应材料之间的第一腔(170)，和被提供在第二支撑物和第二间隙内的顺应材料之间的第二腔(170)。

4.权利要求1的流体喷射装置，其中第一侧壁和第二侧壁每个都具有宽度(W)，且其中第一间隙和第二间隙每个分别具有比第一侧壁和第二侧壁的宽度小的宽度(w/w′)。

5.权利要求4的流体喷射装置，其中第一间隙内和第二间隙内的顺应材料的宽度(L)分别基本等于第一间隙和第二间隙的宽度。

6.权利要求4的流体喷射装置，其中第一间隙内和第二间隙内的顺应材料的宽度(L′)分别小于第一间隙和第二间隙的宽度。

7.权利要求1的流体喷射装置，其中第一间隙和第二间隙每个都具有深度(d/d′)，且其中第一间隙内和第二间隙内的顺应材料的厚度(T/T′)分别基本等于第一间隙和第二间隙的深度。

8.权利要求1的流体喷射装置，其中柔性隔膜的位移的宽度大于流体室的宽度。

9.一种形成流体喷射装置(12/12′/12″)的方法，包括：

形成具有第一侧壁(124)和第二侧壁(124)的流体室(122)；

在该流体室之上延伸柔性隔膜(130)且在所述第一侧壁的端部(126)和所述第二侧壁的端部(126)处支撑该柔性隔膜，包括在该柔性隔膜和所述第一侧壁的端部之间提供第一间隙(150/150′)以及在该柔性隔膜和所述第二侧壁的端部之间提供第二间隙(150/150′)；

在该柔性隔膜上提供致动器(140)，其中该致动器适于使该柔性隔膜相对于该流体室挠曲；以及

在所述第一间隙内和所述第二间隙内提供顺应材料(160)。

10.权利要求9的方法，还包括：

从柔性隔膜和所述第一侧壁的端部之一延伸第一支撑物(128/138)，以及从柔性隔膜和所述第二侧壁的端部之一延伸第二支撑物(128/138)，

其中支撑该柔性隔膜包括在第一侧壁的端部处由第一支撑物支撑该柔性隔膜，以及在第二侧壁的端部处由第二支撑物支撑该柔性隔膜，以及

其中提供第一间隙和提供第二间隙包括在柔性隔膜和所述第一侧壁的端部之间邻近第一支撑物提供第一间隙以及在柔性隔膜和所述第二侧壁的端部之间邻近第二支撑物提供第二间隙。

11.权利要求10的方法，还包括：

在第一支撑物和第一间隙内的顺应材料之间提供第一腔(170)，以及在第二支撑物和第二间隙内的顺应材料之间提供第二腔(170)。

12.权利要求9的方法，其中第一侧壁和第二侧壁每个都具有宽度(W)，且其中提供第一间隙和提供第二间隙包括提供每个分别具有比第一侧壁和第二侧壁的宽度小的宽度(w/w′)的第一间隙和第二间隙。

13.权利要求12的方法，其中在第一间隙内和在第二间隙内提供顺应材料包括提供其宽度(L)分别基本等于第一间隙和第二间隙的宽度的顺应材料。