[发明专利]微机械系统

权利要求书

1.微机械系统(1，2，3，4，5)，包括：

基板(100)；

悬挂装置(130，1301，1302，1303)，

基底(140)，其中，该悬挂装置(130，1301，1302，1303)将该基底(140)可运动地支承在该基板(100)上方，和

微机械传感器(150，151，152)，其特征在于，该微机械传感器(150，151，152)被设置在该基底(140)上。

2.根据权利要求1的微机械系统，其特征在于，所述微机械传感器(150，151，152)包括微机械的加速度传感器。

3.根据权利要求2的微机械系统，其特征在于，所述微机械的加速度传感器包括可运动的质量块(1501，1502)并且将所述质量块(1501，1502)的运动转化为电容的变化。

4.根据权利要求1至3之一的微机械系统，其特征在于，第一消耗层(111)设置在所述基板(100)上，第一功能层(121)设置在该第一消耗层(111)上，第二消耗层(112)设置在该第一功能层(121)上并且第二功能层(122)设置在该第二消耗层(112)上，其中，该第一功能层(121)包括所述基底(140)，而该第二功能层(122)包括所述微机械传感器(150，151，152)。

5.根据权利要求4的微机械系统，其特征在于，所述第一和第二消耗层(111，112)具有二氧化硅，而所述第一和第二层功能层(121，122)具有硅。

6.根据权利要求4或5的微机械系统，其特征在于，一个布线层(160)设置在所述第一功能层(121)和所述第二消耗层(112)之间。

7.根据权利要求1至6之一的微机械系统，其特征在于，所述悬挂装置(130，1301，1302，1303)包括弹簧元件(134，136，138)，并且，所述悬挂装置(130，1301，1302，1303)弹性地支承所述基底(140)。

8.根据权利要求1至7之一的微机械系统，其特征在于，所述悬挂装置(130，1301，1302，1303)包括阻尼单元(135，137)，并且，所述悬挂装置(130，1301，1302，1303)阻尼所述基底(140)的运动。

9.根据权利要求8的微机械系统，其特征在于，所述阻尼单元(135，137)包括第一和第二组指形件(1371，1372)，其中，所述第一组指形件相对于所述基板(100)位置固定地设置，所述第二组指形件与所述基底(140)连接，并且，所述第一和第二组指形件(1371，1372)相互交错。

10.根据权利要求9的微机械系统，其特征在于，所述第一组指形件与第一电位连接，而所述第二组指形件与第二电位连接，并且，调节所述第一和第二电位，以便阻尼所述基底(140)的运动。