[发明专利]放射线检测装置的制造方法、放射线检测装置和放射线成像系统

权利要求书

1.一种放射线检测装置的制造方法，包括以下的步骤：

制备矩阵阵列，所述矩阵阵列包含基板、布置于该基板上的绝缘层和布置于该绝缘层上的多个像素，其中，所述像素包含将入射的放射线或光转换成电信号的转换元件；

将用于覆盖所述多个像素的柔性支撑部件固定到所述矩阵阵列的与所述基板相反的一侧；以及

使所述基板从所述矩阵阵列脱离。

2.根据权利要求1所述的放射线检测装置的制造方法，其中，

所述柔性支撑部件是第一电磁屏蔽层，

在固定所述柔性支撑部件的步骤中，第一闪烁体层被固定于所述多个像素上，所述第一电磁屏蔽层被固定于所述第一闪烁体层上以形成叠层结构，在所述叠层结构中，所述多个像素、所述第一闪烁体层和所述第一电磁屏蔽层被依次层叠。

3.根据权利要求1所述的放射线检测装置的制造方法，其中

所述柔性支撑部件是第一电磁屏蔽层，

在固定所述柔性支撑部件的步骤中，第一闪烁体层和被预先固定到所述第一闪烁体层的所述第一电磁屏蔽层被固定于所述多个像素上，以形成叠层结构，在所述叠层结构中，所述多个像素、所述第一闪烁体层和所述第一电磁屏蔽层被依次层叠。

4.根据权利要求1所述的放射线检测装置的制造方法，其中

所述柔性支撑部件是第一闪烁体层，

在固定所述柔性支撑部件的步骤中，第一电磁屏蔽层被固定于所述多个像素上，具有金属层的第一电磁屏蔽层被固定于所述第一闪烁体层上以形成叠层结构，在所述叠层结构中，所述多个像素、所述第一闪烁体层和所述第一电磁屏蔽层被依次层叠。

5.根据权利要求1所述的放射线检测装置的制造方法，其中

所述柔性支撑部件是第一闪烁体层，

在固定所述柔性支撑部件的步骤中，第一闪烁体层和被预先固定到所述第一闪烁体层上的具有金属层的第一电磁屏蔽层被固定于所述多个像素上，所述第一电磁屏蔽层被固定于所述第一闪烁体层上，以形成叠层结构，在所述叠层结构中，所述多个像素、所述第一闪烁体层和所述第一电磁屏蔽层被依次层叠。

6.根据权利要求2所述的放射线检测装置的制造方法，还包括以下步骤：

在所述绝缘层的其中基板脱离的一侧的所述绝缘层的表面上固定第二闪烁体层。

7.根据权利要求2所述的放射线检测装置的制造方法，还包括以下步骤：

在所述绝缘层的其中基板脱离的一侧的所述绝缘层的表面上固定第二闪烁体层，并且，在所述第二闪烁体层上固定第二电磁屏蔽层。

8.根据权利要求2所述的放射线检测装置的制造方法，还包括以下步骤：

在所述绝缘层的其中基板脱离的一侧的所述绝缘层的表面上固定第二闪烁体层和被预先固定到第二闪烁体层的第二电磁屏蔽层。

9.根据权利要求6所述的放射线检测装置的制造方法，其中，

所述转换元件和所述第二闪烁体层之间的距离为100nm～50μm。

10.根据权利要求1所述的放射线检测装置的制造方法，其中，所述矩阵阵列包含在所述多个像素的外周布置的连接电极。

11.根据权利要求10所述的放射线检测装置的制造方法，其中

所述柔性支撑部件进一步覆盖所述连接电极。

12.根据权利要求10所述的放射线检测装置的制造方法，还包括以下步骤：

将所述连接电极连接到外部电路上。

13.根据权利要求12所述的放射线检测装置的制造方法，其中

所述柔性支撑部件进一步覆盖所述外部电路的至少一部分。

14.根据权利要求12所述的放射线检测装置的制造方法，其中

在所述基板脱离的步骤之后，从绝缘层侧进行连接电极的所述连接。

15.根据权利要求12所述的放射线检测装置的制造方法，还包括：

将所述电磁屏蔽层电连接到所述外部电路的接地电极的步骤。

16.根据权利要求1所述的放射线检测装置的制造方法，还包括：

将柔性光源固定到所述柔性矩阵阵列的其中基板脱离的一侧的步骤，该侧是与所述柔性支撑部件侧相反的一侧。