[发明专利]涡轮分子泵无效
| 申请号： | 200880114192.1 | 申请日： | 2008-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN101842597A | 公开（公告）日： | 2010-09-22 |
| 发明（设计）人： | 海因里希·恩伦德尔 | 申请（专利权）人： | 厄利孔莱博尔德真空技术有限责任公司 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04;F04D27/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 田军锋;魏金霞 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 涡轮 分子 | ||
1.一种涡轮分子泵(10)，包括泵壳体(14)和多个单独的环形定子叶片盘(16)，所述盘共同形成环形盘组(18)，其中
在所述环形盘组(18)与所述泵壳体(14)之间直接布置有圆柱形摩擦衬套(20)，并且
在所述环形盘组(18)与所述泵壳体(14)之间设置有轴向间隙(22)，从而使所述环形盘组(18)能够转动。
2.如权利要求1所述的涡轮分子泵(10)，其特征在于，在所述环形盘组(18)与所述泵壳体(14)之间设置有用于在轴向上对所述环形盘组(18)进行张力调整的轴向张力调整元件(26)。
3.如权利要求1或2所述的涡轮分子泵(10)，其特征在于，在所述环形盘组(18)与所述泵壳体(14)之间在轴向上设置有滑环盘(44，45，46，47)。
4.如权利要求2或3所述的涡轮分子泵(10)，其特征在于，所述环形盘组(18)被所述张力调整元件(26)轴向偏置。
5.如权利要求1-4中任一项所述的涡轮分子泵(10)，其特征在于，所述张力调整元件(26)由弹性张力调整环形成。
6.如权利要求1-5中任一项所述的涡轮分子泵(10)，其特征在于，所述泵转子(13)包括腔，摩擦衬套(52)在所述腔(28)的外侧在轴向上至少部分地不存在。
7.如权利要求1-6中任一项所述的涡轮分子泵(10)，其特征在于，在所述摩擦衬套(20)与所述泵壳体(14)和/或所述环形盘组(18)之间设置有润滑剂。
8.如权利要求1-7中任一项所述的涡轮分子泵(10)，其特征在于，所述摩擦衬套(20)由钢、钛或凯夫拉尔制成，所述泵壳体(14)由铝制成。
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