[发明专利]光调制器

说明书

技术领域

本发明涉及一种光调制器，尤其涉及将高频调制信号导入线路或终端器的至少任一个以焊接件连接于信号电极的端部的至少一方的光调制器。

背景技术

最近，在光通信或光学测量的领域中，广泛使用在具有电光效应的基板形成光波导，并且在基板上形成由用于控制在光波导内导波的光波的信号电极和接地电极构成的调制用电极的光调制器。

光调制器根据各种用途要求各种特性，其中一个要求是在超过10GHz的高频带中光响应特性的频率依赖性、所谓频率特性优越。然而，如图1所示，通常，在光调制器中，在将调制信号导入信号电极3并使之传输的基板1的侧面侧设置信号电极的输入侧端部31及输出侧端部32，在输入侧端部31连接高频调制信号导入线路6，而在输出侧端部32连接有终端器7，所以导入的高频调制信号的一部分辐射到基板内而产生共振现象，在高频带的特定频率中发生了频率特性的明显的下降(波动)。

在专利文献1中，为了抑制这种不良状况，在夹着波导2与信号电极的输入侧端部31和输出侧端部32相反侧设置跳线导体91、92，将该跳线导体连接于容纳光调制器的金属制的框体10。

另外，图1的符号4、5为接地电极，符号81～86为焊接成的金带。在图1，为了容易辨别光波导和调制用电极的位置关系，重叠表示光波导和电极。

专利文献1：日本专利第3731622号公报

另一方面，光调制器所要求的重要的特性之一是抑制温度漂移。除了一部分的光调制器以外，一般形成在光调制器的信号电极或接地电极相对于光的传输方向的光波导的中心线未成为线对称。因此，通过由光调制器的工作中的温度变化引起的基板或电极的热膨胀率的差，信号电极或接地电极的形状发生变化，并且电极给予光波导的内部应力也发生变化。其结果，因为光波导的折射率变化，在光波导内传输的光波的相位受到影响，所以发生工作点偏移。将由这种温度变化引起的工作点偏移称为温度漂移。

在专利文献2中，提出有以下技术：为了抑制这种不良状况，如图2所示，着眼形成在基板1的光波导21、22上的电极，该光波导上的电极相对于光波导的中心(点划线A)成为对称而调整信号电极3或接地电极4、5的形状。具体地，将接地电极4的形状分成对应于信号电极3的部分41、对应于接地电极5的部分43，用导电薄膜42使各部分41、43导通。

另外，图2的符号11表示缓冲层。

专利文献2：日本专利2001-4967号公报

发明内容

本发明要解决的课题在于，提供进一步改善上述的高频带的频率特性，而且能够进一步抑制温度漂移现象的光调制器。

本发明人潜心研究的结果发现：为了改善频率特性，虽然优选较多设置图1所示的跳线导体，但另一方面存在温度漂移现象变得明显的倾向，查寻其原因的结果，发现通过焊接在信号电极的输入侧端部31及输出侧端部32的金带81～86或跳线导体91、92，随着温度变化而在光波导发生内部应力的现象，由此完成了本发明。

技术方案1所涉及的发明其特征在于，在光调制器中包括具有电光效应的基板、形成在该基板的光波导，并且该基板上具有由用于控制在该光波导内导波的光波的信号电极和接地电极构成的调制用电极，将高频调制信号导入线路或终端器的至少任一个通过焊接连接在该信号电极的端部的至少一方，在夹着波导与焊接的该信号电极的端部相反侧的该基板上配置模拟用电极部。

本发明的“模拟用电极部”是指具有如下至少任一个的电极，即将与信号电极的端部中的信号电极和接地电极的形状类似的形状的电极形成在接地电极的一部分的电极，或将与连接于信号电极的端部中的信号电极和接地电极的焊接件相同形状(相同个数、相同配置)的焊接件实施在接地电极的一部分的电极。

技术方案2所涉及的发明，其特征在于，在如技术方案1所述的光调制器中，将该基板固定在预定的壳体，并且该模拟用电极部与该壳体焊接。

技术方案3所涉及的发明，其特征在于，在如技术方案2所述的光调制器中，相对于该光波导的光传输方向的中心轴，线对称配置在上述信号电极的端部实施的焊接的位置与在该模拟用电极部实施的焊接的位置。

技术方案4所涉及的发明，其特征在于，在如技术方案1至3中的任一项所述的光调制器中，该模拟用电极部包括：具有与上述信号电极的端部及其周围的接地电极对应的形状的模拟信号电极和模拟接地电极，并且在该模拟信号电极与该模拟接地电极之间形成有薄电极。

发明的效果