[发明专利]用于监控和调整低温冷却的设备和方法

权利要求书

1.一种供具有当操作时产生蒸气云的低温冷却构件的系统使用的设备，所述设备包括：

第一发射器，其适合发射处在第一初始强度的第一光束；

第一接收器，其具有适合探测第一感测强度的第一传感器，所述第一感测强度为当所述第一光束被定向在所述第一传感器时所述第一光束在所述第一传感器处的强度，所述第一接收器适合产生第一传感器信号，所述第一传感器信号为所述第一感测强度的函数，所述第一发射器和第一传感器具有第一操作位置，其中所述第一发射器和第一传感器定位和定向成使得所述第一光束被定向到所述第一传感器上，并且所述第一光束在被所述第一传感器接收之前穿过所述蒸气云至少一次；以及

控制器，对其进行编程以基于控制器数据设定和/或调节所述系统的至少一个操作参数，所述控制器数据包括所述第一传感器信号。

2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述至少一个操作参数包括所述低温冷却构件的冷却率。

3.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述至少一个操作参数包括如果所述第一传感器信号指示所述蒸气云的不透明度在预定范围之外则被激活的警报。

4.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述第一光束包括可见激光。

5.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述设备还包括传感器组，所述传感器组包括至少一个参数传感器，所述至少一个参数传感器的每一个均适合测量这样的参数，除了所述冷却构件应用到其上的基板的温度，所述参数是可影响所述蒸气云的不透明度的参数，并且所述至少一个参数传感器的每一个均适合产生参数传感器信号，所述参数传感器信号为所述至少一个参数传感器所感测的参数的函数，其中所述数据还包括来自所述至少一个传感器的每一个的所述参数传感器信号。

6.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述设备还包括第三传感器，所述第三传感器适合测量所述蒸气云邻近的环境空气的相对湿度并适合产生第三信号，所述第三信号为测定的相对湿度的函数，并且其中所述控制器数据还包括所述第三信号。

7.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述设备还包括第四传感器，所述第四传感器适合当基板移动经过所述低温冷却构件时确定其速度并适合产生第四信号，所述第四信号为所述测定速度的函数，并且其中所述控制器数据还包括所述第四信号。

8.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述第一发射器和第一接收器定位成使得所述光束在被所述第一传感器接收之前被第一表面反射。

9.根据权利要求8所述的设备，其特征在于，所述第一传感器与所述第一发射器定位成相邻。

10.根据权利要求8所述的设备，其特征在于，所述设备还包括：

第二发射器，其适合发射在第二初始强度的第二光束；

第二接收器，其具有适合探测第二感测强度的第二传感器，所述第二感测强度为当所述第二光束被定向在所述第二传感器时所述第二光束在所述第二传感器处的强度，所述第二接收器适合产生第二传感器信号，所述第二传感器信号为所述第二感测强度的函数，所述第二发射器和第二传感器具有第二操作位置，其中所述第二发射器和第二传感器定位成使得所述第二光束被定向到所述第二传感器上，所述第二光束在被所述第二传感器接收之前被所述第一表面或第二表面反射，并且所述第二光束在被所述第二传感器接收之前不穿过所述蒸气云至少一次；并且

其中对所述控制器进行编程以基于所述控制器数据设定和/或调节所述系统的所述至少一个操作参数，并且当所述第一发射器和第二传感器处于所述第一操作位置且所述第二发射器和第二传感器处于所述第二操作位置时，所述控制器数据包括所述第一传感器信号和所述第二传感器信号。

11.根据权利要求10所述的设备，其特征在于，所述第一传感器定位成与所述第一发射器相邻而所述第二传感器定位成与所述第二发射器相邻。

12.一种供具有当操作时产生蒸气云的低温冷却构件的系统使用的设备，所述设备包括：

用于测量所述蒸气云的至少一部分的相对不透明度的机构；以及

与所述用于测量的机构通信的控制器，所述控制器适合基于所述蒸气云的所述至少一部分的相对不透明度来设定和/或调节所述系统的至少一个操作参数。