[发明专利]用于沉积电绝缘层的方法

权利要求书

1.一种用于操作电弧源的方法，其中在目标(5)的表面上点燃或操作电火花放电，并且同时利用分配有直流电压DV的直流电流以及由周期性施加的电压信号所生成的脉冲电流来馈送所述火花放电，其特征在于，电弧源上的电压在几微秒的时间跨度上被提高。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述电压信号的信号形状基本上能够自由选择。

3.根据前述权利要求之一所述的方法，其特征在于，所述电压信号的频率处于1Hz与200kHz之间，优选地处于10Hz与50kHz之间。

4.根据前述权利要求之一所述的方法，其特征在于，所述信号形状是锯齿形、多边形、梯形，但优选是矩形。

5.根据前述权利要求之一所述的方法，其特征在于，以间隙操作的方式施加所述电压信号。

6.根据前述权利要求之一所述的方法，其特征在于，在超过所检测到的电流阈值的情况下切断所述电压信号。

7.根据前述权利要求之一所述的方法，其特征在于，所述信号形状由接连排列的针形脉冲(22)的合成(21)形成。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述针形脉冲(22)通过以时间顺序控制的各个电容器(19)的放电或者通过脉冲电压供应装置(15)生成。

9.根据权利要求7和8之一所述的方法，其特征在于，所述针形脉冲(22)的上升边沿(23)的边沿陡度至少为0.5V/μs，但优选至少为2V/μs。

10.根据权利要求7至9之一所述的方法，其特征在于，所述针形脉冲(22)的序列或持续时间处于0.1kHz与1MHz或10ms与1μs之间，优选地处于1kHz与500kHz或1ms与2μs之间。

11.根据权利要求7至10之一所述的方法，其特征在于，所述针形脉冲(22)的高度PV比所施加的直流电压DV至少超出10％，优选地至少超出30％。

12.根据权利要求7至11之一所述的方法，其特征在于，至少3个、优选至少5个针形脉冲(22)被用来生成所述电压信号。

13.根据前述权利要求之一所述的方法，其特征在于，所述电压信号由在信号长度、信号频率、电压振幅、脉冲间隔和/或信号形状方面能够自由调整的脉冲电压供应装置(15)或发电单元(16)来提供。

14.根据前述权利要求之一所述的方法，其特征在于，所述电压信号由在针形脉冲的时间序列、边沿陡度和/或高度方面能够自由调整的脉冲电压供应装置(15)或发电单元(16)来提供。

15.根据前述权利要求之一所述的方法，其特征在于，所述电压信号的上升边沿(23)的陡度至少为0.5V/μs，但优选至少为2V/μs。

16.根据前述权利要求之一所述的方法，其特征在于，在基本上整个脉冲长度T_p期间都施加优选恒定的脉冲电压PV。

17.根据前述权利要求之一所述的方法，其特征在于，所述周期性施加的电压信号被替换地施加到多个电弧源的所述目标(5)上。

18.根据前述权利要求之一所述的方法，其特征在于，绝缘层、尤其是含有氧化物的层或氧化层被沉积出来。

19.根据前述权利要求之一所述的方法，其特征在于，所述目标(5)的材料由碳或者由含碳量超过20％体积百分比的材料构成。

20.一种利用按照权利要求1至19之一所述的方法所操作的电弧源来制造涂覆有涂层的基板的方法。