[发明专利]生产与控制电子组件的板或晶片的方法与设备

权利要求书

1.一种生产及控制电子组件的板(12)的方法，包括：

一第一步骤，其借助定位构件(34)将一平板(12)定位于一加载台(16)；

一第二步骤，其放置该平板(12)于一沉积台(18)，该沉积台(18)与用于沉积金属或其它材料的一单元(20)相关联，在该单元(20)中，在该平板(12)上沉积该金属或其它材料，以根据一预定及期望拓扑布置，在这些平板(12)上产生由金属或其它材料制成的线路；

一第三步骤，其放置该平板(12)于一退出台(24)，且致动一检测构件(30)，以检测该平板(12)中是否存在缺陷；以及

一第四步骤，其将该平板(12)从该退出台(24)释出，

其特征在于：在该第一步骤中致动该检测构件(30)，以识别放置在该加载台(16)的该平板(12)中的缺陷；并且当该检测构件(30)在该第一步骤中未在该平板(12)上检测到任何缺陷，则在该第二步骤中致动该沉积单元(20)，以在该平板(12)上沉积该金属或其它材料。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于：在该第四步骤中，借助定位构件(34)在一第一释出方向上释出无缺陷的该平板(12)。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于：在该第四步骤中，借助该定位构件(34)在一第二释出方向上释出有缺陷的该平板(12)。

4.如上述任一权利要求所述的方法，其特征在于：该第四步骤在从该退出台(24)释出该平板(12)之后还包括一子步骤，其清洁该定位构件(34)，以清除杂质。

5.如权利要求4所述的方法，其特征在于：借助空气抽吸清洁该定位构件(34)。

6.如上述任一权利要求所述的方法，其特征在于：该检测构件包括至少一电视摄影机(30)。

7.一种生产与控制电子组件的板(12)的设备，包括：

一加载台(16)；

一退出台(24)；

至少一中间插入沉积台(18)，其与用于沉积金属或其它材料的一相应单元(20)相关联，适于根据一预定布置，在该平板(12)上沉积金属线路或其它材料；

一传送构件(28)，其能够将平板(12)穿过该沉积台(18)从该加载台传送至该退出台(24)；

检测构件(30)，其与该退出台(24)相关联，该检测构件(30)能够检测被放置在该退出台(24)上的一平板(12)中的缺陷；以及

一控制单元(36)，其适于致动用于沉积金属或其它材料的该单元(20)，还可以致动该传送构件(28)及该定位构件(34)，其特征在于：该检测构件(30)适于观察被放置在该加载台(16)的一平板(12)，以检测缺陷，且致动该金属沉积单元(20)，以在该检测构件(30)未在一平板(12)上发现任何缺陷时，在该平板(12)上沉积金属或其它材料。

8.如权利要求7所述的设备，其特征在于：该传送构件(28)及该定位构件(34)被致动，以在一第一释出方向上从该退出台(24)移动一无缺陷的平板(12)。

9.如权利要求8所述的设备，其特征在于：该传送构件(28)及该定位构件(34)被致动，以在一第二释出方向上从该退出台(24)移动一有缺陷的平板(12)。

10.如权利要求7所述的设备，其特征在于：该检测构件包括一电视摄影机(30)。

11.如权利要求7所述的设备，其特征在于：该检测构件包括一对电视摄影机(30，130)，该对电视摄影机(30，130)中的一第一电视摄影机(30)与该加载台(16)相关联，且该对电视摄影机(30，130)中的一第二电视摄影机(130)与该退出台相关联。

12.如权利要求7至11中任一所述的设备，其特征在于：其包含清除杂质的构件，适于清洁该定位构件(34)。

13.如权利要求12所述的设备，其特征在于：该清除杂质的构件包括一空气抽吸装置。