[发明专利]使用串行受控的智能开关来测试器件的方法和装置

权利要求书

1.一种探针卡组件，包括：

多个集成电路(IC)，串行地耦合以形成链，所述链耦合至至少一个串行控制线，所述多个IC包括耦合至测试探针的开关，每个所述开关是响应于所述至少一个串行控制线上的控制信号而可编程的。

2.根据权利要求1所述的探针卡组件，其中所述多个IC的每个包括用于存储由所述控制信号提供的控制字的比特的移位寄存器。

3.根据权利要求2所述的探针卡组件，其中所述多个IC的每个包括控制逻辑，所述移位寄存器驱动所述控制逻辑来编程所述多个开关。

4.根据权利要求1所述的探针卡组件，其中每个所述开关被配置为响应于可编程电流水平而断开。

5.根据权利要求4所述的探针卡组件，其中每个所述开关被配置为响应于存在于可编程去抖动时间段的可编程电流水平而断开。

6.根据权利要求1所述的探针卡组件，其中每个所述开关包括：

开关电路，具有第一端子、第二端子和控制端子；

电流传感器，耦合至所述第一端子和所述第二端子的每一个，所述电流传感器具有输出端子；以及

去抖动逻辑，耦合在所述开关电路的所述控制端子和所述电流传感器的所述输出端子之间。

7.根据权利要求1所述的探针卡组件，其中所述多个IC的每个包括至多4个所述开关。

8.一种测试组件，包括：

印刷线路板，包括用于连接至测试仪的连接器，以及提供控制信号的串行控制线；

探针头，支撑测试探针；以及

耦合至所述串行控制线的至少一个集成电路(IC)，所述至少一个IC包括耦合至所述测试探针的至少部分的开关，每个所述开关是响应于在所述串行控制线上被作为顺序比特流传输的所述控制信号而可编程的。

9.根据权利要求8所述的测试组件，其中所述至少一个IC包括耦合以形成链的多个IC，所述链耦合至所述串行控制线。

10.根据权利要求8所述的测试组件，其中所述至少一个IC被安装在所述印刷线路板上。

11.根据权利要求8所述的测试组件，其中所述至少一个IC被安装在所述探针头上。

12.根据权利要求8所述的测试组件，其中至少一个所述开关用于切换由所述测试仪施加到一个测试探针上的测试信号。

13.根据权利要求8所述的测试组件，其中至少一个所述开关用于切换由一个所述测试探针施加到所述测试仪上的测试信号。

14.根据权利要求8所述的测试组件，其中每个所述开关被配置为响应于存在于可编程去抖动时间段的可编程电流水平而断开。

15.一种使用探针卡组件测试晶片上的元件的方法，包括：

将控制信号串行地移位经过包括多个集成电路(IC)的链，所述多个IC包括多个开关，所述多个开关是响应于所述控制信号而编程的；以及

通过所述多个开关在测试探针和测试仪之间传送测试信号以测试所述元件。

16.根据权利要求15所述的方法，其中串行地移位的动作包括：

将所述控制信号的第一比特载入每个所述多个IC的移位寄存器中，所述第一比特对于每个所述多个开关选择性地使能可编程电流跳闸和电流感应能力。

17.根据权利要求16所述的方法，其中串行地移位的动作还包括：

将所述控制信号的第二比特载入每个所述多个IC的所述移位寄存器中，所述第二比特对于每个所述多个开关编程可编程电流跳闸的电流阈值。

18.根据权利要求17所述的方法，其中串行地移位的动作还包括：

将所述控制信号的第三比特载入每个所述多个IC的所述移位寄存器中，所述第三比特对于每个所述多个开关编程可编程电流跳闸的去抖动时间。

19.根据权利要求15所述的方法，其中串行地移位的动作包括将所述控制信号的比特载入每个所述多个IC的移位寄存器中，所述比特导致每个所述多个开关的电流感应能力的校准。

20.根据权利要求15所述的方法，还包括：

从所述链捕获读回信号，所述读回信号包括指示每个所述多个开关的状态的比特。