[发明专利]光电转换元件用电极基板、光电转换元件用电极基板的制造方法以及光电转换元件

权利要求书

1.一种光电转换元件用电极基板的制造方法，其特征在于，具有如下工序：

在基板上形成透明导电膜和集电配线的工序，

在所述透明导电膜上与所述集电配线不同的部分上形成多孔氧化物半导体层的工序，

将所述多孔氧化物半导体层进行煅烧的工序，

所述煅烧后，以覆盖所述集电配线的方式形成由具有250℃以上的耐热性的绝缘性树脂构成的保护层的工序，和

形成所述保护层后，使色素吸附于所述多孔氧化物半导体层的工序；

进而，在所述形成保护层的工序中或之后，在所述使色素吸附于多孔氧化物半导体层的工序之前，具有在250℃以上加热所述基板的工序。

2.根据权利要求1所述的光电转换元件用电极基板的制造方法，其特征在于，所述加热工序中的加热温度低于煅烧工序中的煅烧温度。

3.一种光电转换元件用电极基板，其特征在于，具备：

具有透明导电膜和集电配线的基板，在所述透明导电膜上与所述集电配线不同的部分上设置的多孔氧化物半导体层，和以覆盖所述集电配线的方式形成的由绝缘性树脂构成的保护层；

所述保护层由具有250℃以上的耐热性的绝缘性树脂构成。

4.根据权利要求3所述的光电转换元件用电极基板，其特征在于，所述具有250℃以上的耐热性的绝缘性树脂是选自聚酰亚胺衍生物、硅酮化合物、氟弹性体、氟树脂中的一种或多种。

5.一种光电转换元件，其特征在于，具备权利要求3或4所述的光电转换元件用电极基板。