[发明专利]使用造影剂通过扫描隧道显微术检测试样的方法

权利要求书

1.用扫描隧道显微镜检测试样的方法，其特征在于，于该扫描隧道显微镜的尖端和/或试样上的在拍照时是隧道接触的一部分的至少一个位置处，在拍照之前或拍照期间施加造影剂，而在该位置将温度调节为低于或等于该造影剂的冷凝温度。

2.权利要求1的方法，其特征在于，选择了气态造影剂。

3.前述权利要求之一的方法，其特征在于，选择氢(H₂)或氘(D₂)或氚(T₂)或HD(氢-氚)或HT(氢-氚)或DT(氘-氚)或氦(He)或其它优选就原子量而言为轻质的气体或气体混合物作为造影剂。

4.前述权利要求1或2之一的方法，其特征在于，选择氖、O₂、CO、NO_x、N₂、N₂O、CO₂作为造影剂。

5.前述权利要求之一的方法，其中，在一个时间间隔期间拍摄图像以及I/U-特性曲线或谱图，即该隧道电流I对隧道电压U的dI/dU或更高级导数。

6.前述权利要求之一的方法，其中，在围绕隧道电压0mV呈对称分布的I/U-特性曲线中出现非线性时拍摄图像。

7.前述权利要求之一的方法，其中，同时拍摄具有原子几何形状的化学对比度和电子对比度的图像。

8.前述权利要求之一的方法，其特征在于，在约-100mV至约+100mV，特别是-50mV至+50mV的小隧道电压拍摄图像。

9.扫描隧道显微镜，其特征在于，导向尖端区和/或试样夹具的输入管道。

10.前述权利要求9的扫描隧道显微镜，其特征在于，用带喷嘴的可加热毛细管作为输入管道。

11.前述权利要求9或10之一的扫描隧道显微镜，其特征在于，其在输入管道的出口处设计成低温扫描隧道显微镜。

12.造影剂，其包括氢(H₂)或氘(D₂)或氚(T₂)或HD(氢-氚)或HT(氢-氚)或DT(氘-氚)或其它的优选就原子量而言为轻质的气体或气体混合物。

13.氢(H₂)或氘(D₂)或氚(T₂)或HD(氢-氚)或HT(氢-氚)或DT(氘-氚)或氦(He)或其它优选就原子量而言为轻质的气体或气体混合物作为造影剂，优选作为在扫描隧道显微镜中的造影剂的用途。