[发明专利]对三维形状的工件进行的溅镀成膜方法及用于该方法的装置

权利要求书

1.一种对三维形状的工件进行的溅镀成膜方法，通过对靶材进行溅镀，对安装于与所述靶材对向设置且旋转的转盘式工件夹具上进行成膜，其特征在于：

使所述三维形状的工件以位于连接所述靶材与转盘式工件夹具的旋转轴的平面的垂直面内的轴旋转，

并且，

在整个溅镀时间中的至少一部分时间之内，使从所述靶材飞散的溅镀粒子的主飞散方向偏心于所述转盘式工件夹具的旋转轴中心方向。

2.根据权利要求1所述的对三维形状的工件进行的溅镀成膜方法，其特征在于，从三维形状的工件的上方和/或下方进行溅镀。

3.根据权利要求1或2所述的对三维形状的工件进行的溅镀成膜方法，其特征在于，以磁控溅镀对靶材进行溅镀。

4.一种溅镀装置，在真空腔室内具有靶材和与所述靶材对向设置且具有旋转轴的转盘式工件夹具，其特征在于：

所述转盘式工件夹具具有工件夹具支撑部和多个工件保持部，所述工件保持部设置于所述工件夹具支撑部的外周部，所述转盘式工件夹具和/或工件保持部设置成以位于连接靶材和转盘式工件夹具的旋转轴的平面的垂直面内的轴旋转，

所述靶材具有旋转轴且能够朝左右方向旋转。

5.一种溅镀装置，在真空腔室内具有靶材、靶材磁铁以及与靶材对向设置且具有旋转轴的转盘式工件夹具，其特征在于：

所述转盘式工件夹具具有工件夹具支撑部和多个工件保持部，所述工件保持部设置于所述工件夹具支撑部的外周部，所述转盘式工件夹具和/或工件保持部设置成以位于连接靶材和转盘式工件夹具的旋转轴的平面的垂直面内的轴旋转，

所述靶材磁铁具有旋转轴且能够朝左右方向旋转。

6.一种溅镀装置，在真空腔室内具有靶材、以及与靶材对向设置且具有旋转轴的转盘式工件夹具，其特征在于：

所述转盘式工件夹具具有工件夹具支撑部和多个工件保持部，所述工件保持部设置于所述工件夹具支撑部的外周部，所述转盘式工件夹具和/或工件保持部设置成以位于连接靶材和转盘式工件夹具的旋转轴的平面的垂直面内的轴旋转，

将所述靶材设置为使从靶材飞散的溅镀粒子的主飞散方向偏心于所述转盘式工件夹具的旋转轴中心方向。

7.一种溅镀装置，在真空腔室内具备靶材、靶材磁铁以及与靶材对向设置且具有旋转轴的转盘式工件夹具，其特征在于：

所述转盘式工件夹具具有工件夹具支撑部和多个工件保持部，所述工件保持部设置于所述工件夹具支撑部的外周部，所述转盘式工件夹具和/或工件保持部设置成以位于连接靶材和转盘式工件夹具的旋转轴的平面的垂直面内的轴旋转，

将所述靶材磁铁设置成使从所述靶材飞散的溅镀粒子的主飞散方向偏心于所述转盘式工件夹具的旋转轴中心方向。

8.根据权利要求4至7中的任意一项所述的溅镀装置，其特征在于，将靶材设置在所述转盘式工件夹具的上方和/或下方。

9.根据权利要求5、7至8中的任意一项所述的溅镀装置，其特征在于，所述靶材为圆筒形，所述靶材磁铁设置于所述靶材内部。