[发明专利]利用线锯的工件的切断方法及线锯

说明书

技术领域

本发明涉及一种利用线锯(线切割机)将工件(例如硅晶棒、化合物半导体的晶棒等)切成多个晶片的切断方法。

背景技术

近年，晶片有大型化的趋势，随着此大型化而使用专门用于切断晶棒的线锯装置。

线锯是使钢线(高张力钢线)高速行进，在此一边浇上浆液，一边压抵工件而切断，同时切成多片晶片的装置(参照日本专利公开公报特开平9-262826号)。

在此，图3中表示公知的一般线锯的一例的概要。

如图3所示，线锯101主要包括用以切断工件的钢线102、卷绕有钢线102的带槽滚筒103、用以赋予钢线102张力的钢线张力赋予机构104、向下方送出要被切断的工件的工件进给机构105、以及在切断时供给浆液的浆液供给机构106。

钢线102从一侧的线滚动条(线卷盘(wire reel))107送出，经由移车台(traverser)108，再经过由磁粉离合器((powder clutch)定转矩马达109或上下跳动滚筒(静重(dead weight))(未图示)等所组成的钢线张力赋予机构104，进入带槽滚筒103。钢线102卷绕在该带槽滚筒103约300～400圈之后，经过另一侧的钢线张力赋予机构104’卷绕在线滚动条107’上。

此外，带槽滚筒103是在钢铁制圆筒的周边压入聚胺酯树脂，并在其表面以恒定的间距切出槽的滚筒，卷绕的钢线102可通过驱动用马达110而以预定的周期在往复方向上被驱动。

另外，切断工件时，通过工件进给机构105，工件一边被保持一边被压下，而向已卷绕在带槽滚筒103上的钢线102进给(推送)。

此外，在带槽滚筒103与卷绕的钢线102的附近，设有喷嘴115，在切断时，可从浆液槽116供给浆液至钢线102上。此外，浆液槽116可与浆液冷却器117连接，以调整供给浆液的温度。

利用如此的线锯101，且利用钢线张力赋予机构104赋予钢线102适当的张力，通过驱动用马达110，使钢线102一边在往复方向上行进，一边将工件切片。

所述钢线到达保持工件的抵板为止，进行工件的切入，由此完成工件的切断。之后，通过逆转工件的进给方向，从所述钢线列，将完成切断的工件拔出。

作为从所述钢线列拔出工件时用以防止该钢线列勾在工件的切断之处而使钢线浮起的线锯，例如，如日本专利公开公报特开平8-11047号所示，公开一种线锯，其具备通过构成限制装置的一对限制构件，在工件的钢线出入点附近位置，将钢线压住来限制钢线的浮起。

然而，利用所述一般的线锯，将工件切断成晶片状，调查被切断的晶片的形状之后，发现产生大的翘曲。

翘曲是半导体晶片的切断中的重要质量考虑因素之一，随着制品的质量要求提高，而有进一步降低翘曲的要求。

对于工件的质量造成不良影响的一例存在如下问题，即，例如在所述工件切断后，从钢线列将完成切断的工件拔出时，因残存在工件切断面上的浆液而对于工件切断面造成损伤，日本专利公开公报特开2003-275950号公开一种线锯，为了抑制对于所述工件切断面造成的不良影响，从所述钢线列拔出切断完成的工件时，提高附加于钢线的张力。

发明内容

一般而言，要被供给至切断用钢线的浆液是以油性或水性的冷却液将微细的磨粒作成悬浊状，因在未搅拌的状态下，磨粒与液体成分容易分离，因所述液体成分脱除而高粘度化的浆液，容易残存在切断后的工件上，因此，在此状态下，若将工件从钢线列拔出时，工件切断面因该当钢线列而受损，在该切断面容易发生所谓的锯痕，因此导致翘曲恶化而损及质量的结果。

所述锯痕发生在垂直于工件进给方向的方向，即筋状地发生在钢线行进方向。这被认为是因残存在工件表面上的浆液，伴随钢线的行进，向钢线行进方向移动而发生的。

因此，为防止此情况发生，在工件拔出时，只要停止钢线的行进即可，但在停止钢线的行进的状态下，若进行工件的拔出时，钢线列局部地勾在残存在工件表面上的浆液中，特别是勾在磨粒凝集而粘固在工件表面上的部分上，而发生切断用钢线断线。

本发明是有鉴于上述问题而开发出来的，其目的是提供一种线锯，利用简单的结构，便不会对于通过线锯的钢线列切断的工件的切断面造成不良影响，而从所述钢线列拔出完成切断的工件。