[发明专利]激光加工装置有效

专利信息
申请号: 200880116723.0 申请日: 2008-11-18
公开(公告)号: CN101868887A 公开(公告)日: 2010-10-20
发明(设计)人: 金贤中;金大镇;严升焕;李光在 申请(专利权)人: 科尼克系统股份有限公司
主分类号: H01S3/10 分类号: H01S3/10
代理公司: 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 代理人: 陈英俊
地址: 韩国*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要:
搜索关键词: 激光 加工 装置
【权利要求书】:

1.一种激光加工装置,包括:

激光共振腔,所述激光共振腔使激光束产生共振;

光学系统,所述光学系统将经由所述激光共振腔而共振的所述激光束转化为具有预定光束宽度的光束剖面的能量密度;

腔室,在所述腔室中,由所述光学系统转化的所述激光束辐照到放置在所述腔室中的加工物体上;

反射器,所述反射器被放置在所述激光共振腔和所述腔室之间,以反射所述激光束;以及

激光束校准单元,所述激光束校准单元校准辐照到所述腔室中的所述激光束,

其中,所述激光束校准单元包括:

校准单元,所述校准单元被安装在所述反射器和所述加工物体之间,并且所述校准单元被放置在所述激光束的传播路径中,所述校准单元界定面积大于所述激光束的横截面的通孔,以使得所述激光束可以穿过所述通孔;

驱动器,所述驱动器驱动所述反射器,以控制经由所述反射器反射的所述激光束的传播路径;以及

控制器,所述控制器控制所述驱动器,从而,基于当所述激光束穿过校准单元的通孔时所检测到的所述激光束来控制所述激光束的中心与所述通孔的中心之间的距离。

2.根据权利要求1所述的激光加工装置,其中,所述控制器控制所述驱动器,以使得所述激光束的中心穿过所述通孔的中心。

3.根据权利要求2所述的激光加工装置,其中,所述激光束校准单元进一步包括第一传感器和第二传感器,所述第一传感器和所述第二传感器分别与所述校准单元连结,并且被放置在所述通孔的两侧,以检测入射的激光束,并且当检测到所述激光束时向所述控制器输出检测信号,所述第一传感器和所述第二传感器之间的距离使得所述激光束可以在所述第一传感器和所述第二传感器之间穿过,

其中,当所述第一传感器检测到所述激光束并且输出所述检测信号时,所述控制器驱动所述驱动器,直到所述第二传感器输出所述检测信号的时刻,并且所述控制器驱动所述驱动器,直到所述第一传感器再次输出所述检测信号的时刻,其后,所述控制器在第一参考时间内输出驱动信号以驱动所述驱动器,以使得所述激光束的中心穿过所述通孔的中心,所述第一参考时间是基于从所述第二传感器输出所述检测信号的时刻到所述第一传感器再次输出所述检测信号的时刻所用时间而设置的,并且

当所述第一传感器和所述第二传感器都偏离在所述激光束的传播途径以外并且未输出检测信号时,所述控制器驱动所述驱动器,直到所述第一传感器输出所述检测信号时,并且所述控制器驱动所述驱动器,直到所述第二传感器输出所述检测信号时,其后,所述控制器在第二参考时间内输出所述驱动信号以驱动所述驱动器,以使得所述激光束的中心穿过所述通孔的中心,所述第二参考时间是基于从所述第一传感器输出检测信号的时刻到所述第二传感器输出检测信号的时刻所用时间而设置的。

4.根据权利要求3所述的激光加工装置,其中,所述激光束校准单元进一步包括第三传感器和第四传感器,所述第三传感器和所述第四传感器分别与所述校准单元连结,并且被放置在所述通孔的相对侧,以与所述第一传感器和所述第二传感器一起相对于所述通孔的中心径向地排列,所述第三传感器和第四传感器检测入射激光束,并且在检测到所述激光束时向所述控制器输出检测信号,所述第三传感器和所述第四传感器之间的距离使得所述激光束可以在所述第三传感器和所述第四传感器之间穿过,

其中,当所述第三传感器检测到所述激光束并且输出所述检测信号时,所述控制器驱动所述驱动器,直到所述第四传感器输出所述检测信号的时刻,并且所述控制器驱动所述驱动器,直到所述第三传感器再次输出检测信号的时刻,其后,所述控制器在第三参考时间内输出驱动信号,以驱动所述驱动器,以使得所述激光束的中心穿过所述通孔的中心,所述第三参考时间是基于从所述第四传感器输出所述检测信号的时刻到所述第三传感器再次输出所述检测信号的时刻所用时间而设置的,并且

当所述第三传感器和所述第四传感器都偏离在所述激光束的传播路径以外并且未输出所述检测信号时,所述控制器驱动所述驱动器直到所述第三传感器输出所述检测信号的时刻,并且所述控制器驱动所述驱动器,直到所述第四传感器输出所述检测信号的时刻,其后,所述控制器在第四参考时间内输出所述驱动信号,以驱动所述驱动器,以使得所述激光束的中心穿过所述通孔的中心,所述第四参考时间是基于从所述第三传感器输出检测信号的时刻到所述第四传感器输出检测信号的时刻所用时间而设置的。

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