[发明专利]过滤器单元及过滤器芯子

说明书

技术领域

本发明涉及过滤器单元及过滤器芯子，更详细地涉及使用于制造半导体晶片或LCD用玻璃基板等时所使用的胺类等的有机剥离液或颜料分散光致抗蚀剂或者使用化学的机械的研磨装置时所使用的泥浆等的过滤、纯水的制造等的过滤器单元及应用于该单元的过滤器芯子，尤其涉及它们的结构。

背景技术

过滤器单元具备：过滤器芯子(过滤器组装体)；外壳(筒体)，收容过滤器芯子；及外壳盖体(顶盖)，具有被过滤液的入口、过滤液的出口及排气用通气口，作为过滤器芯子公知有例如在半径方向内外的多孔筒之间收容使带有折皱的多孔质膜呈圆筒状的过滤构件，并熔接上下的端盖而成的过滤器芯子。

作为过滤器单元的一个类型存在如下过滤器单元，首先从盖体入口向外壳内的过滤器芯子的半径方向外侧的侧部流路导入被过滤液，之后，流向半径方向内侧多孔筒内的中心部流路使其向半径方向内侧经过过滤构件并进行过滤，从中心部流路向出口吐出该过滤液。在该类型的过滤器单元中，被过滤液的流动往往停滞在侧部流路的外壳底部侧，因此，存在如下情况，在侧部流路底部附近残留未过滤的异物，或过滤构件的底部侧与上部侧(外壳盖体侧)相比使用效率降低。

作为改善该课题的过滤器单元开发出如下过滤器单元(例如，本申请人的日本国专利申请2007-107074号等)，其构成为将过滤构件的中心部空间分为半径方向内侧的中心部内侧流路和半径方向外侧的中心部外侧流路，通过首先向中心部内侧流路通入从盖体入口导入的被过滤液之后，从该内侧流路的下端部向外壳内的过滤器芯子下方的底部流路，之后从底部流路向上述侧部流路输送，可防止在侧部流路底部附近滞留，还可使被过滤液从侧部流路向中心部外侧流路大致均等地经过过滤构件以进行过滤，经由中心部外侧流路从盖体出口吐出该过滤液。上述中心部外侧流路形成在半径方向外侧的多孔筒和半径方向内侧的无孔筒之间，在该无孔筒内部形成中心部内侧流路。

上述的最初将被过滤液导入中心部内侧流路的类型的过滤器单元能够解决在侧部流路下方滞留被过滤液或不均衡使用过滤构件这样的问题，另一方面，由于使被过滤液流经中心部内侧流路→底部流路→侧部流路→中心部外侧流路，所以与最初说明的类型(侧部流路→中心部流路)相比液体流通路径变长，因此，在导入被过滤液的初期阶段，存在容易在过滤器单元内的液体流通路径中残存空气(气泡)这样的问题，尤其是气泡容易附着残留于形成中心部外侧流路的半径方向外侧的多孔筒的多个开口(因为成形时的脱模，尺寸稍稍向半径方向内侧缩小)的边缘。另外，如果残存的气泡随后即使只是稍稍混入过滤液，也有可能例如在制造中的半导体晶片等上产生不良现象。

而且，如上所述，如果液体流通路径变长，则过滤器单元内的残留液体具有变多的倾向，尤其是过滤对象的药液等在开发初期阶段中价格极高且只有少量时，该残留液体的问题尤为显著。

发明内容

本发明是针对上述课题而做出的，其目的在于提供一种过滤器单元及应用于该单元的过滤器芯子，在使被过滤液流经中心部流路→底部流路→侧部流路的类型的过滤器单元中，能够提高空气去除性能，同时能够缩小所谓的滞留体积以减少残液量。

根据本发明，提供一种过滤器单元，具备：过滤器芯子，包括圆筒状过滤构件及配置在过滤构件中心部的圆筒状滤芯构件；外壳，收容过滤器芯子；及外壳盖体，具有被过滤液的入口及过滤液的出口，滤芯构件具有与所述入口连通的中心部流路，在外壳内分别在过滤器芯子的下方形成有底部流路、在过滤器芯子的半径方向外侧形成有侧部流路，从入口导入的被过滤液经由所述中心部流路被输送至底部流路，之后从底部流路被输送至侧部流路，从侧部流路向半径方向内侧经过过滤构件而被过滤后，沿滤芯构件外周流向出口，其特征在于，在所述滤芯构件的外周设置有：凸部，过滤时支撑所述过滤构件的内周部；及凹部，将向半径方向内侧经过了过滤构件的过滤液引导向所述出口。

在本发明中，从盖体入口经由中心部流路、底部流路直至侧部流路的被过滤液向半径方向内侧经过过滤构件并被过滤，此时，滤芯构件外周的凸部发挥这样的作用：从内侧支撑因流体压力而被压向半径方向内侧的过滤构件的内周部；而且，滤芯构件外周的凹部发挥这样的作用：将过滤液导向盖体出口。因此，能够废除在以往的最初将被过滤液导入中心部内侧流路的类型的过滤器单元中的形成在半径方向外侧的多孔筒和半径方向内侧的无孔筒之间的中心部外侧流路，由此，不再需要使用容易残存气泡的上述多孔筒，而且，能够缩小中心部外侧流路部分的滞留体积。