[发明专利]多模式光斑发生器和多模式多光斑扫描显微镜

权利要求书

1.一种光斑发生器(10)，其具有：

-用于接收入射光束(20)的进入表面(12)，和

-用于透射所述光束的退出表面(14)，

所述进入表面限定进入侧(16)且所述退出表面限定退出侧(18)，其中，所述光斑发生器被设计为调制所述入射光束以在所述退出侧生成第一多个(22)和第二多个(24)分离的光斑，属于所述第一多个光斑的每个光斑具有第一角谱，且属于所述第二多个光斑的每个光斑具有不同于所述第一角谱的第二角谱。

2.如权利要求1所述的光斑发生器(10)，其中，所述第一多个光斑(22)和所述第二多个光斑(24)位于公共焦平面内。

3.如权利要求1所述的光斑发生器(10)，其中，由所述光斑发生器(10)在所述退出侧(18)上生成的每个光斑在基本垂直于所透射的光束(20)的平均传播方向的平面上的位置投影不同于由所述光斑发生器在所述退出侧上生成的每个其他光斑。

4.如权利要求1所述的光斑发生器(10)，其中，所述光斑发生器包括用于生成所述第一多个光斑(22)的第一部分(26)以及用于生成所述第二多个光斑的第二部分(28)。

5.如权利要求1所述的光斑发生器(10)，其中，所述光斑发生器(10)包括用于生成所述第一和所述第二多个光斑(22，24)的相同晶胞(30)的阵列。

6.如权利要求1所述的光斑发生器(10)，其中，所述光斑发生器(10)包括周期性二值相位结构。

7.如权利要求1所述的光斑发生器(10)，其中，所述第一多个光斑(22)的数值孔径不同于所述第二多个光斑(24)。

8.如权利要求1所述的光斑发生器(10)，其中，所述第一多个光斑(22)每个均具有圆盘形横断面的角谱，且所述第二多个光斑(24)每个均具有环形横断面的角谱。

9.如权利要求1所述的光斑发生器(10)，其中，所述第一多个光斑(22)的发光度不同于所述第二多个光斑(24)。

10.如权利要求1所述的光斑发生器(10)，其中，所述第一多个光斑(22)是最低限度地散光畸变的，且所述第二多个光斑(24)是充分散光畸变的。

11.一种多光斑扫描显微镜(32)，包括如权利要求1所述的光斑发生器(10)。

12.如权利要求11所述的多光斑扫描显微镜(32)，还包括：

-成像光学器件(34)，其被布置成收集来自由所述光斑发生器(10)生成的光斑(22，24)的光(20)，

-像素化光电探测器(36)，其被布置成探测由所述成像光学器件收集的光(20)，以及

-逻辑电路(38)，其操作地连接到所述像素化光电探测器，用于选择性地分析所述第一多个(22)或所述第二多个(24)光斑。

13.如权利要求11所述的多光斑扫描显微镜(32)，其中，所述显微镜(32)被设计为同时生成所述第一多个(22)和所述第二多个(24)光斑。

14.如权利要求11所述的多光斑扫描显微镜(32)，其中，所述显微镜(32)被设计为顺序地生成所述第一多个(22)和所述第二多个(24)光斑。

15.一种对样品特别是微观样品成像的方法，其包括以下步骤：

-同时生成用于照亮所述样品的第一多个(22)和第二多个(24)分离的光斑，其中，属于所述第一多个光斑的每个光斑具有第一角谱，且属于所述第二多个光斑的每个光斑具有不同于所述第一角谱的第二角谱；

-在像素化光电探测器(36)上生成所述样品的图像；

-选择性地分析所述第一多个(22)或所述第二多个(24)光斑。