[发明专利]放射线检测器及其制造方法有效
申请号: | 200880117506.3 | 申请日: | 2008-11-20 |
公开(公告)号: | CN101861528A | 公开(公告)日: | 2010-10-13 |
发明(设计)人: | 本间克久;千代间仁;藤枝新悦;堺佳子;五十川昌邦;铃木昭子 | 申请(专利权)人: | 东芝电子管器件株式会社 |
主分类号: | G01T1/20 | 分类号: | G01T1/20 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 张鑫 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 放射线 检测器 及其 制造 方法 | ||
1.一种放射线检测器(11),其特征在于,包括:
基板(12),该基板(12)具有光电变换元件(21);
闪烁层(13),该闪烁层(13)形成于该基板(12)上,并将放射线变换成荧光;
防湿体(15),该防湿体(15)具有至少包括所述闪烁层(13)的深度并在周边具有檐部(33);以及
粘接层(34),该粘接层(34)对所述基板(12)与所述防湿体(15)的檐部(33)进行粘接密封。
2.如权利要求1所述的放射线检测器(11),其特征在于,
粘接层(34)在树脂材料中含有厚度不到粘接层(34)厚度的填料材。
3.如权利要求1或2所述的放射线检测器(11),其特征在于,
在粘接层(34)中,粘接层(34)的实质性平均厚度T与实质性平均宽度W满足W/T>10的关系。
4.如权利要求1至3中任一项所述的放射线检测器(11),其特征在于,
防湿体(15)用Al和Al合金中的任一种材料,形成为箔及薄板中的任一种形态。
5.如权利要求1至3中任一项所述的放射线探测器(11),其特征在于,
防湿体(15)形成为轻元素的无机膜和轻金属薄膜中的任一种与树脂材料的层叠构造。
6.如权利要求4或5所述的放射线检测器(11),其特征在于,
防湿体(15)与形成于基板(12)上的电路布线(18、19)的至少一部分电连接。
7.如权利要求4至6中任一项所述的放射线检测器(11),其特征在于,
在防湿体(15)的闪烁层(13)一侧的面上设有吸收荧光的荧光吸收层。
8.如权利要求1至7中任一项所述的放射线检测器(11),其特征在于,
在闪烁层(13)与防湿体(15)之间具有将荧光向基板(12)一侧反射的反射层(14)。
9.如权利要求8所述的放射线检测器(11),其特征在于,
在反射层(14)与防湿体(15)之间具有缓冲片(48)。
10.如权利要求1至7中任一项所述的放射线检测器(11),其特征在于,
在闪烁层(13)与防湿体(15)之间具有缓冲片(48)。
11.如权利要求1至10中任一项所述的放射线检测器(11),其特征在于,
在1个大气压下的防湿体(15)内部的缝隙容积与将防湿体(15)周围减压到0.1个大气压以下时的防湿体(15)内部的缝隙容积之比为1/2以下。
12.一种反射线检测器(11)的制造方法,其特征在于,
在权利要求1至10中任一项所述的反射线检测器(11)的制造方法中,在减压状态下对防湿体(15)与基板(12)进行粘接密封。
13.如权利要求12所述的反射线检测器(11)的制造方法,其特征在于,
对于粘接层(34),至少对在防湿体(15)的檐部(33)和与檐部(33)粘接的基板(12)一侧的面中的任一方涂布紫外线硬化型粘接剂,在使这些防湿体(15)的檐部(33)与基板(12)密接之后,以照射紫外线来使粘接剂在室温下硬化、或者在照射紫外线来使粘接剂在室温下硬化后加热从而使其进一步硬化中的任一种方式,来进行硬化。
14.如权利要求13所述的反射线检测器(11)的制造方法,其特征在于,
粘接层(34)使用通过阳离子聚合进行硬化反应的紫外线硬化型粘接剂,并从具有电路布线的基板(12)一侧照射紫外线来发生硬化反应。
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