[发明专利]具有电容式微机械超声波换能器的超声波扫描设备

权利要求书

1.一种方法，其用于制造基于导管的医疗设备，所述方法包括：

将电子电路和柔性构件集成；

将超声波换能器和所述柔性构件集成，所集成的电子电路、超声波换能器和柔性构件成为柔性子组件；

将所述柔性子组件成形为超声波扫描设备；和

将所述超声波扫描设备接合到所述导管上。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述超声波换能器是柔性的。

3.根据权利要求1所述的方法，其中电子器件是柔性的。

4.根据权利要求1所述的方法，还包括在将所述电子器件和所述超声波换能器与所述柔性构件集成之前，在基底的器件层集成所述电子器件和所述超声波换能器。

5.根据权利要求4所述的方法，还包括通过基底的器件层形成至少一个图案化的开口。

6.根据权利要求5所述的方法，还包括形成具有至少一个嵌入式空腔的器件层。

7.根据权利要求4所述的方法，还包括在SOI晶片上形成所述器件层。

8.根据权利要求1所述的方法，还包括同时将所述电子器件和所述超声波换能器与所述柔性构件集成。

9.根据权利要求1所述的方法，其中集成所述超声波换能器包括使用半导体技术。

10.根据权利要求1所述的方法，其中所成形的柔性部件至少界定了管腔的一部分。

11.根据权利要求1所述的方法，其中集成所述柔性超声波换能器是来自包括所述柔性超声波换能器的活动表面的所述超声波换能器侧。

12.根据权利要求1所述的方法，还包括将所成形的柔性构件接合到管腔。

13.根据权利要求1所述的方法，其中所述柔性超声波换能器包括至少一个电容式微机械超声波换能器(CMUT)。

14.根据权利要求1所述的方法，还包括折叠控制所述柔性超声波换能器的所述柔性构件的一部分，其中所述柔性构件的所折叠的部分和所述柔性超声波换能器形成前视超声波换能器。

15.根据权利要求1所述的方法，其中柔性超声波换能器至少包括圆形CMUT阵列的一部分。

16.根据权利要求1所述的方法，其中所述柔性构件包括一对支架。

17.一种基于导管的医疗设备，其包括：

电子电路；

超声波换能器；

柔性构件，其中所述电子电路和所述超声波换能器与所述柔性构件集成，所集成的电子电路、超声波换能器和柔性构件成为柔性子组件，该柔性子组件被成形为超声波扫描设备；和

管腔，所述超声波扫描设备接合到该管腔。

18.根据权利要求17所述的基于导管的医疗设备，其中所述超声波换能器为柔性超声波换能器。

19.根据权利要求17所述的基于导管的医疗设备，其中所成形的柔性子组件界定了管腔的一部分。

20.根据权利要求17所述的基于导管的医疗设备，其中所述柔性超声波换能器包括贯穿晶片互连。

21.根据权利要求17所述的基于导管的医疗设备，其中所述超声波换能器包括至少一个CMUT元件。

22.根据权利要求17所述的基于导管的医疗设备，其中所述超声波换能器为包括至少两个CMUT元件的CMUT阵列。

23.根据权利要求17所述的基于导管的医疗设备，还包括与所述柔性构件集成的温度传感器或压力传感器中的一个。

24.根据权利要求17所述的基于导管的医疗设备，其中所述超声波换能器至少包括圆形CMUT阵列的一部分。

25.根据权利要求17所述的基于导管的医疗设备，其中所述超声波换能器为前视超声波换能器。