[发明专利]剥离液组合物、使用了该剥离液组合物的树脂层的剥离方法有效
| 申请号： | 200880118038.1 | 申请日： | 2008-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN101878452A | 公开（公告）日： | 2010-11-03 |
| 发明（设计）人： | 金成正夫;佐口琢哉 | 申请（专利权）人： | 汉高公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;H01L21/027;H01L21/304 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 王健 |
| 地址： | 美国康*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 剥离 组合 使用 树脂 方法 | ||
1.剥离液组合物，其用于剥离树脂层，含有链烷醇胺类、芳香族醇类和防蚀剂的组合。
2.权利要求1所述的剥离液组合物，其特征在于，还含有水。
3.权利要求1或2所述的剥离液组合物，其特征在于，所述链烷醇胺类含有选自单乙醇胺、异丙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺和2-(2-氨基乙氧基)乙醇中的至少1种。
4.权利要求1～3任一项所述的剥离液组合物，其中，所述芳香族醇类含有选自苄醇、苯乙醇和羟基苄醇中的至少一种。
5.权利要求1～4任一项所述的剥离液组合物，其中，所述防蚀剂含有选自苯并三唑系化合物、芳香族羟基化合物、含有巯基的化合物、糖类、硼酸及其盐、硅酸盐中的至少1种。
6.权利要求1～5任一项所述的剥离液组合物，其中，
所述链烷醇胺类在所述剥离液组合物中所占的比例为5～70质量％，
所述芳香族醇类在所述剥离液组合物中所占的比例为5～80质量％，
所述防蚀剂在所述剥离液组合物中所占的比例为0.01～10质量％，
所述水在所述剥离液组合物中所占的比例为0～60质量％。
7.权利要求1～6任一项所述的剥离液组合物，其中，
所述树脂层包含选自滤色层、光刻胶层和罩面层、树脂间隔层、取向膜层中的至少1种的层。
8.权利要求1～7任一项所述的剥离液组合物，其中，所述树脂层为在包含金属类的构件上形成的层。
9.权利要求8所述的剥离液组合物，其中，所述金属为包含Cu和Al的至少一种的金属。
10.权利要求8所述的剥离液组合物，其中，所述构件选自配线、反射膜和遮光层。
11.权利要求7所述的剥离液组合物，其中，所述树脂层为正型或负型光刻胶层。
12.树脂层的剥离方法，其具有使权利要求1～11任一项所述的剥离液组合物与树脂层接触的工序。
13.制造物，其通过具有权利要求12的剥离方法作为1个工序的制造方法制造。
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