[发明专利]短相干干涉仪

权利要求书

1.一种用于测量样品(P)的多个轴向间隔的区域(T₁，T₂)的短相干干涉仪设备，所述样品(P)特别地为眼睛(A)，所述设备具有至少一个测量束路径和一个参考束路径(R)，多个单独的测量束通过所述测量束路径而入射在所述样品(P)上，参考辐射通过所述参考束路径(R)而被导引，所述参考辐射与单独的测量束(M₁，M₂)叠加且与所述单独的测量束的干涉，其中所述单独的测量束(M₁，M₂)在入射到所述样品(P)上时彼此轴向偏移，偏移量适应于轴向间隔(d)，并且其中所述干涉仪设备(I)具有叠加装置(K，K₁，K₂)，所述叠加装置(K；K₁，K₂)使每个从所述样品返回的单独的测量束(M₁，M₂)与所述参考辐射叠加以引起干涉，其特征在于，所述叠加装置(K；K₁，K₂)具有多个输出(III，V)，每个输出(III，V)馈送检测器(D₁，D₂)，其中所述叠加装置(K；K₁，K₂)接收用于与所有单独的测量束(M₁，M₂)叠加的相同参考辐射，在每个输出(III，V)处输出与所述参考辐射叠加的多个单独的测量束(M₁，M₂)的混合束，每个混合束包含以变化的相位调整与所述参考束叠加的各个比率的所述单独的测量束(M₁，M₂)。

2.根据权利要求1的短相干干涉仪设备，其特征在于，设置提供测量辐射的辐射源(Q)，其输出源束，所述源束被馈送至所述叠加装置(K；K₁，K₂)，所述叠加装置(K，K₁，K₂)将特定强度比率的所述源束分离成所述测量束路径(M)和所述参考束路径(R)。

3.根据权利要求1的短相干干涉仪设备，其特征在于，在每个混合束中，所述单独的测量束(M₁，M₂)具有基本相同的分量。

4.一种用于测量样品(P)的多个轴向间隔的区域(T₁，T₂)的短相干干涉仪设备，所述样品(P)特别地为眼睛(A)，所述设备具有至少一个测量束路径，多个单独的测量束通过所述测量束路径而入射在所述样品(P)上，所述单独的测量束(M₁，M₂)在入射到所述样品(P)上时彼此轴向偏移，偏移量适应于轴向间隔(d)，并且所述干涉仪设备(I)具有叠加装置(K，K₁，K₂)，所述叠加装置(K，K₁，K₂)使所述单独的测量束(M₁，M₂)中的至少两个彼此叠加以引起干涉，其特征在于，所述叠加装置(K，K₁，K₂)使所述两个单独的测量束中的每一个叠加在特定的其他单独的测量束上以引起干涉且获得两个叠加的束，然后将这两个束导引到相关联的检测器(D₁，D₂)。

5.根据上述权利要求中的一项的短相干干涉仪设备，其特征在于，在所述测量束路径(M)中设置透镜装置(8)，其将所述测量辐射分离成所述单独的测量束(M₁，M₂)，且使所述单独的测量束(M₁，M₂)相对于彼此延迟，并将它们聚焦在距离所述样品(P)不同的焦距长度处。

6.根据权利要求5的短相干干涉仪设备，其特征在于，所述透镜装置(8)通过光瞳分区分离所述单独的测量束(M₁，M₂)，所述透镜装置(8)的分离的光瞳区域与每个单独的测量束(M₁，M₂)相关联，利用光程长度的成像特性中的至少一个，所述光瞳区域和所述光瞳区域的色散彼此不同。