[发明专利]探针卡

权利要求书

1.一种探针卡，用于检查被检查体的电特性，所述探针卡包括：

电路基板；

支承板，被配置在所述电路基板的下表面侧，并支承与被检查体接触的接触件；

保持部件，保持所述支承板的外周部的下表面；以及

抵接部件，被配置在所述保持部件与所述支承板的外周部的下表面之间，并向上方突出而与所述支承板的外周部的下表面抵接。

2.如权利要求1所述的探针卡，其中，

所述抵接部件在与所述支承板的径向成直角的方向上延伸。

3.如权利要求1所述的探针卡，其中，

所述探针卡包括多个所述抵接部件，

所述抵接部件在平面图中等间隔地配置在以所述支承板的中心为圆心的同一圆周上。

4.如权利要求1所述的探针卡，其中，

所述抵接部件是圆柱形状的滚子。

5.如权利要求1所述的探针卡，其中，

所述保持部件将所述抵接部件和所述支承板向所述电路基板侧按压。

6.如权利要求5所述的探针卡，其中，

所述保持部件是板簧。

7.如权利要求1所述的探针卡，其中，

在所述保持部件的顶端设置有停止器，该停止器用于防止所述抵接部件脱落。

8.如权利要求1所述的探针卡，其中，

所述保持部件与所述抵接部件成为一体。

9.如权利要求1所述的探针卡，其中，

在所述支承板的上表面形成多个引导部，在该引导部中插入导销，所述引导部引导所述支承板在水平方向上的伸缩，

所述引导部在平面图中形成为其长度方向的长度比所述导销的直径长，

各所述引导部的长度方向的中心线通过所述支承体的中心。

10.如权利要求9所述的探针卡，其中，

所述引导部形成在四处，

所述引导部以中心角间隔90度的方式形成在以所述支承板的中心为圆心的同一圆周上。

11.如权利要求9所述的探针卡，其中，

所述导销被所述电路基板固定成不能在水平方向上移动。