[发明专利]特征分析装置有效
申请号: | 200880119406.4 | 申请日: | 2008-12-01 |
公开(公告)号: | CN101889196A | 公开(公告)日: | 2010-11-17 |
发明(设计)人: | 林义典;若叶博之;宫园浩一;小野洋子;森秀树 | 申请(专利权)人: | 芝浦机械电子装置股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/956 | 分类号: | G01N21/956;G06T1/00;G06T7/00;H01L21/66 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 黄纶伟;吕俊刚 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 特征 分析 装置 | ||
1.一种特征分析装置,其将表示由预定形式的检查体信息定义的检查体的特征的多个类设定为多个层级,并且设定分别属于所述多个类的多个特征参数,对该多个特征参数分别分配同一平面上的方向,其中,该特征分析装置具有:
取得成为分析对象的检查体的检查体信息的单元;
参数值确定单元,其分析所取得的所述检查体信息,确定所述多个层级各自的特征参数的值;
参数矢量生成单元,其针对所述多个层级,分别根据所述多个特征参数各自的值和对应的方向生成单一的参数矢量;
矢量转换单元,其将分别针对所述多个层级得到的参数矢量转换成作为预定的三维空间中的三维矢量的层级矢量;以及
特征信息生成单元,其生成多个节在所述三维空间中的坐标值的组,作为表示成为分析对象的所述检查体的特征的特征信息,其中所述多个节是将针对所述多个层级得到的多个层级矢量按该层级的顺序进行连接而得到的。
2.根据权利要求1所述的特征分析装置,其中,所述矢量转换单元生成预定长度、且所述参数矢量的方向的分量与该参数矢量的大小一致的层级矢量。
3.根据权利要求1所述的特征分析装置,其中,该特征分析装置具有特征显示控制单元,该特征显示控制单元根据所述特征信息,将与所连接的所述多个层级矢量对应的节和臂的连接体显示在显示单元上。
4.根据权利要求1所述的特征分析装置,其中,该特征分析装置具有相似度生成单元,该相似度生成单元根据第一特征信息中包含的坐标值组中的各坐标值所确定的节、和与第二特征信息中包含的坐标值组对应的坐标值所确定的节之间的位置关系,生成表示所述第一特征信息和所述第二特征信息的相似程度的相似度信息。
5.根据权利要求1所述的特征分析装置,其中,该特征分析装置具有相似度信息显示控制单元,该相似度信息显示控制单元将所述相似度信息显示在所述显示单元上。
6.根据权利要求1所述的特征分析装置,其中,该特征分析装置具有组设定单元,该组设定单元针对多个检查体分别将所述特征信息保持为训练信息,并根据关于该多个检查体的训练信息的分布状态,设定各检查体应被分类的多个组。
7.根据权利要求6所述的特征分析装置,其中,该特征分析装置具有特征登记单元,该特征登记单元将所述检查体的特征信息登记为所指定的组的训练信息。
8.根据权利要求6所述的特征分析装置,其中,该特征分析装置具有以下单元:该单元根据针对成为分析对象的检查体得到的特征信息中包含的坐标值组中的各坐标值所确定的节、和与组中包含的至少一个训练信息中包含的坐标值组对应的坐标值所确定的节之间的位置关系,判定成为所述分析对象的检查体是否属于所述组。
9.根据权利要求6所述的特征分析装置,其中,该特征分析装置具有分类评价单元,该分类评价单元根据被设定为与第一组对应的多个训练信息中分别包含的坐标值组中的各坐标值所确定的节的分布范围、以及被登记为与第二组对应的多个训练信息中分别包含的坐标值组中的各坐标值所确定的节的分布范围,进行所述第一组和所述第二组的训练信息的分类是否适当的评价。
10.根据权利要求1所述的特征分析装置,其中,所述检查体是待检查表面状态的物体的该表面的摄影图像的至少一部分。
11.根据权利要求10所述的特征分析装置,其中,被设定为所述多个层级的多个类具有:表示与图像的颜色相关的特征的类,表示与图像的频率特性相关的特征的类,表示与图像的浓度或亮度的分布状态相关的特征的类,以及表示与包括图像内特征部位的形状、大小和明亮度在内的物理量相关的特征的类。
12.根据权利要求11所述的特征分析装置,其中,所述表示与图像的颜色相关的特征的类被设定为最下层级(第一层),所述表示与图像的频率特性相关的特征的类被设定为第二层级,所述表示与图像的浓度或亮度的分布状态相关的特征的类被设定为第三层级,表示与包括图像内特征部位的形状、大小和明亮度在内的物理量相关的特征的类被设定为第四层级。
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