[发明专利]用于外包装容器的吹塑衬里及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及基于衬里的存储和分配系统。本发明进一步涉及用于外包装、瓶子、容器等的衬里，以及制造该衬里的方法。更为具体地，本发明涉及使用在外包装、瓶子、容器等中的柔性的注射吹塑成型或注射拉伸吹塑成型的衬里，及其制造方法。

背景技术

许多生产工艺需要使用超高纯度的液体，例如酸、溶剂、碱、光致抗蚀剂、掺杂剂、无机溶液、有机溶液和生物溶液、药物和放射性化学品。这些工业需要控制超高纯度液体中粒子的数量和大小，以确保其纯度。特别是，由于超高纯度液体被应用于微电子制造工艺的许多方面，半导体厂商已经制定了加工化学品和化学品处理设备的严格的粒子浓度规格。这些规格是必要的，因为如果在生产过程中使用的液体含有高水平的粒子或气泡，这些粒子或气泡可在硅的固体表面沉积。从而，这会依次导致制品的失败和降低质量与可靠性。

因此，储存、运输和分配此类超高纯度液体需要能够对储存的液体提供足够保护的容器。典型的用于工业中的两种容器是简单的由玻璃或塑料制成的硬壁容器和可塌缩的基于衬里的容器。由于硬壁容器的物理强度、厚壁、成本低廉和容易制造，通常使用硬壁容器。但是，这种容器在压力分配液体时会引入空气-液体界面。这会导致气泡溶入储存在容器内的液体，例如光致抗蚀剂中，并且导致液体中生成不希望的粒子。

另一种容器，可塌缩的基于衬里的容器，例如由ATMI公司销售的分配系统，能够通过在分配液体时用气体向衬里加压，而不是直接向容器中的液体加压，从而减少这种空气-液体界面。此外，这种容器具有更好的再循环性，因为保存的液体只与可塌缩衬里接触，从而使“固定的外包装”能够与另一个衬里一起重新使用。但是，已知的衬里可能不能提供对抗环境条件的足够保护。例如，目前的基于衬里的容器不能为保存的液体抵抗至少两种气体源。一种气体源是在位于衬里皱褶之间或被困于衬里皱褶之间的气体源皱褶。更为具体地，由于衬里的柔韧特性和与外部容器的不适应的可能性，空隙间的空气可能夹带在可塌缩衬里的皱褶内。第二种气体源是位于多片层衬里的片层间。在衬里的皱褶问或衬里的片层间的这种空隙问气体可能随着时间的延长而污染保存的液体，因为气体将能够进入到溶液并且作为气泡或粒子出现在晶片上。

另外，具有不相符的可塌缩衬里的容器可能在运输过程中受到振动的影响，通过不希望的撞击在液体中产生越来越多的粒子。这种衬里也会由于运输过程中的振动产生少量的小孔。

因此，本领域中存在对一种有效的生产用于外包装、瓶子、容器等的衬里的方法的需求，该衬里没有之前的硬壁和基于可塌缩衬里容器的缺点，而且在衬里生产中浪费度低。本领域需要一种柔性的衬里，其与外包装、容器、瓶子等的内部更加相符。本领域需要一种基于衬里的储存和分配系统，其致力于解决衬里的皱褶间和衬里多片层间的气体所导致的问题。本领域进一步需要一种柔性衬里，其具有更少的由运输导致的失效。本领域中还进一步需要一种含氟聚合物阻隔衬里，其具有一个整体性配件端口，以确保其中储存的超高纯度液体的纯度。

发明内容

本发明的一个实施方式是一种用于制造外包装用衬里的方法。该方法包括：提供聚合物衬里预型件，使预型件膨胀至与模具基本相符，以及使衬里塌缩用于插入外包装。在一些实施方式中，提供衬里预型件可包括将一种或多种聚合物材料注入预成型模具以形成预型件。使预型件膨胀包括将预型件吹塑或拉伸吹塑至外包装的尺寸以形成衬里。在可替代实施方式中，衬里可直接吹塑或拉伸吹塑至外包装内。在某些实施方式中，该方法进一步包括在在吹塑预型件之前加热预型件和测试衬里的泄漏性。含氟聚合物可用于预型件。

在另一个实施方式中，提供了制造容器用柔性衬里的又一方法。该方法包括提供含氟聚合物的预型件、加热该含氟聚合物的预型件和使含氟聚合物的预型件膨胀至外包装的尺寸以形成柔性衬里。

在进一步的实施方式中，提供了一种外包装用柔性衬里。该衬里包括与外包装的内部基本相符的柔性主体和与柔性主体构成一体的配件端口。通过使柔性主体塌缩，将柔性主体插入外包装，然后使柔性主体在外包装内重新充气膨胀，该柔性主体适于可移动地插入外包装。该柔性主体优选地包括含氟聚合物，且可含有多层。该柔性主体可进一步优选地包括气体阻隔层。该衬里可是自由形态的，并且可独立于外包装。在一些实施方式中，该衬里不用粘合于外包装而与外包装的内部相符。