[发明专利]铝膜形成用组合物以及铝膜的形成方法

权利要求书

1.铝膜形成用组合物，其特征在于：该组合物含有下式(1)所示的络合物和下式(2)所示的络合物，其中下式(1)所示的络合物与下式(2)所示的络合物的摩尔比为40∶60-85∶15，

AlH₃·NR¹R²R³                   (1)

AlH₃·(NR¹R²R³)₂                (2)

式(1)和(2)中，R¹、R²和R³各自独立地为氢原子、烷基、环烷基、烯基、炔基、芳基或芳烷基。

2.权利要求1所述的铝膜形成用组合物，其中，上式(1)所示的络合物与上式(2)所示的络合物的摩尔比为70∶30-85∶15。

3.权利要求1所述的铝膜形成用组合物，其中，该组合物进一步含有钛化合物。

4.权利要求2所述的铝膜形成用组合物，其中，该组合物进一步含有钛化合物。

5.铝膜的形成方法，其特征在于：在基体上涂布权利要求1-4中任一项所述的铝膜形成用组合物，形成涂膜，对该涂膜实施加热和光照射中的至少一种处理。

6.权利要求5所述的铝膜的形成方法，其中，在基体上预先涂布底层膜形成用组合物，然后对其进行加热，其中该底层膜形成用组合物含有除上式(1)所示的络合物和上式(2)所示的络合物之外的有机金属化合物，并且该有机金属化合物含有选自钛、钯和铝中的至少一种金属。

7.权利要求1-4中任一项所述的铝膜形成用组合物的制备方法，其特征在于该方法经历以下步骤：在醚溶剂中、在0℃以下使氢化锂铝与下式(3)所示的化合物的氢卤酸盐反应，合成上式(1)所示的络合物，

NR¹R²R³                (3)

式(3)中，R¹、R²和R³各自具有与上式(1)和(2)中的相同的含义，

在烃溶剂中、在超过30℃的温度下使氢化锂铝与上式(3)所示的化合物的氢卤酸盐反应，合成上式(2)所示的络合物，然后将两者混合。

8.权利要求1或3所述的铝膜形成用组合物的制备方法，其特征在于该方法经历以下步骤：在醚溶剂中在5-20℃下或在烃溶剂中在25-30℃下，使氢化锂铝与上式(3)所示化合物的氢卤酸盐反应，一并合成以摩尔比40∶60-85∶15含有上式(1)所示的络合物和上式(2)所示的络合物的络合物混合物。