[发明专利]压差测量单元

权利要求书

1.压差测量单元(1；101；201)，用于检测第一压力和第二压力之间的压力差，包括：

-弹性测量系统，其带有至少一个具有硅的测量薄膜(4；103；105；203；205)；

-至少一个承载体(2；5；102；104；106；204)，其与弹性测量系统压密地相连；

-第一液压路径，用于将第一压力传递到弹性测量系统的第一表面部分上；

-第二液压路径，用于将第二压力传递到弹性测量系统的第二表面部分上；其中第一压力与第二压力相对地作用，并且测量系统的弹性偏转是第一和第二压力之间的差的量度；其中压差测量单元还具有至少一个液压节流门(9；10；107；108；211)，其特征在于，所述至少一个液压节流门包括多孔硅。

2.根据权利要求1所述的压差测量单元，其中，弹性测量系统具有测量薄膜(4)，该测量薄膜设置在第一承载体(2)和第二承载体(3)之间并且沿着环绕的接缝压密地与两个承载体分别相连，并且其中第一和第二液压路径各自包括至少一条贯穿承载体之一的通道。

3.根据权利要求2所述的压差测量单元，其中，至少一个液压节流门(9；10)包括：多孔Si层，其围绕在承载体的背离测量薄膜的表面上的通道口；和液压密封的覆盖层(11，12)，其覆盖多孔Si层，直至至少一个与通道口在横向上相间隔的入口，从而液压路径从至少一个入口延伸通过在多孔Si层的平面中的多孔Si层达到通道口。

4.根据权利要求3所述的压差测量单元(1)，其中，第一承载体(2，3)和第二承载体各自在背离测量薄膜(4)的表面上具有液压节流门(9；10)，该液压节流门具有多孔Si层和围绕通道口的覆盖层(11，12)。

5.根据权利要求2所述的压差测量单元，其中，至少一条贯穿承载体的通道具有多孔硅。

6.根据权利要求1所述的压差测量单元(201)，其中，弹性测量系统包括第一测量薄膜(203)和第二测量薄膜(205)，第一测量薄膜沿环绕的接缝压密地固定在承载体(204)的第一表面部分上，第二测量薄膜沿环绕的接缝压密地固定在承载体的第二表面部分上，其中第三液压路径在第一和第二测量薄膜之间延伸，以液压地耦合第一和第二测量薄膜，其中液压节流门(211)设置在第三液压路径中。

7.根据权利要求6所述的压差测量单元，其中，液压节流门包括由多孔硅制成的层，并且第三液压路径延伸贯穿Si层的平面的多孔Si层。

8.根据权利要求3或7或任一从属于权利要求3或7的权利要求所述的压差测量单元，其中，多孔Si层的厚度不大于20微米，优选地不大于10微米。

9.根据权利要求3或7或任一从属于权利要求3或7的权利要求所述的压差测量单元，其中，多孔Si层的厚度不小于2微米，优选地不小于4微米。

10.根据前述任一权利要求所述的压差测量单元，其中，多孔硅的孔径不大于100纳米，优选地不大于50纳米。

11.根据前述任一权利要求所述的压差测量单元，其中，孔径不小于10纳米，优选地不小于20纳米。

12.根据前述任一权利要求所述的压差测量单元，其中，承载体具有硅或玻璃。

13.根据前述任一权利要求所述的压差测量单元，其中，在单侧过载的情况下，至少一个测量薄膜至少部分就位于承载体上并由承载体支承。