[发明专利]用于电化学腐蚀监视的方法及设备

权利要求书

1.一种监视工作电极的腐蚀的方法，所述方法包括：

将低频率、低幅度的正弦电压扰动信号施加于所述工作电极；

监视从所述工作电极返回的电流响应；并且

分析所述电流响应以得到与所述被施加的正弦电压扰动信号同相以及90°异相的周期分量并且确定所述电流信号与其自身的相关程度。

2.根据权利要求1所述的监视工作电极的腐蚀的方法，其特征在于，其中所述工作电极的整体腐蚀由所述电流的同相正弦分量的幅度指示，并且对局部化的腐蚀的倾向由所述电流响应与其自身的相关程度指示。

3.根据权利要求1所述的监视工作电极的腐蚀的方法，其特征在于，其中所述电流响应的总的均方根与所述电流响应的模之间的差与对所述工作电极上的局部化的腐蚀的倾向相关。

4.根据权利要求1所述的监视工作电极的腐蚀的方法，其特征在于，其中所述扰动信号被连续地施加并且被分析以提供所述整体腐蚀的连续的输出以及相关的程度。

5.根据权利要求1所述的监视工作电极的腐蚀的方法，其特征在于，其中对局部化的腐蚀的倾向由总的被观察的电流响应与所述电流响应的所述模之间的差除以所述电流响应的所述模的比值来指示。

6.一种用于监视工作电极的腐蚀的设备，所述设备包括：

信号发生器，所述信号发生器用于向所述工作电极提供低频率、低幅度的正弦电压扰动信号；

监视器，所述监视器用于监视从所述工作电极返回的电流响应；

以及

电流分析器，所述电流分析器用于分析所述电流响应以得到与所述被施加的正弦电压扰动信号同相的周期性的分量，并且用于确定所述信号与其自身的相关程度。

7.根据权利要求6所述的用于监视工作电极的腐蚀的设备，其特征在于，所述设备还包括在所述工作电极的整体腐蚀由所述电流的同相正弦分量的幅度指示，并且对局部化的腐蚀的倾向由所述电流响应与其自身的相关程度指示时用于指示的装置。

8.根据权利要求6所述的用于监视工作电极的腐蚀的设备，其特征在于，所述设备还包括在电流响应的模的总的均方根之间的差与对所述工作电极上的局部化的腐蚀的倾向相关时用于指示的装置。

9.根据权利要求6所述的用于监视工作电极的腐蚀的设备，其特征在于，所述设备还包括用于连续地施加所述扰动信号的装置，以及用于分析从所述工作电极得到的返回信号以便提供所述整体腐蚀的连续输出以及所述相关程度的装置。

10.根据权利要求6所述的用于监视工作电极的腐蚀的设备，其特征在于，所述设备还包括用于通过比较总的被观察的电流响应与所述电流响应的模之间的差除以所述电流响应的模的比值来指示对局部化的腐蚀的倾向的装置；以及

用于为了使用所述电流响应与其自身的相关程度从谐波失真分析获得进一步的腐蚀比率(rate)的目的而验证依据处于被施加的正弦波的整数倍的更高的谐波分量对所述电流响应的进一步的分析的装置。