[发明专利]散射电子收集器

权利要求书

1.一种散射电子收集器，包括：

热吸收构件，其具有第一末端、第二末端、外周和中心孔，其中，所述中心孔被形成为从所述第一末端到所述第二末端沿纵向方向通过所述热吸收构件；以及

冷却元件，其具有外周和内周，

其中，所述热吸收构件的所述外周适于与所述冷却元件的所述内周相接触，并且

其中，从所述中心孔沿到所述热吸收构件的所述外周的方向形成槽。

2.根据权利要求1所述的散射电子收集器，其中，沿径向方向从所述中心孔到所述热吸收构件的所述外周形成所述槽。

3.根据权利要求1或2所述的散射电子收集器，其中，沿径向方向从所述中心孔到所述热吸收构件的所述外周形成多个槽。

4.根据权利要求1或2所述的散射电子收集器，其中，沿径向方向从所述中心孔到所述热吸收构件的所述外周形成八个槽。

5.根据权利要求3或4所述的散射电子收集器，其中，所述槽均匀地分布在所述热吸收构件的圆周处。

6.根据权利要求1到5中任一项所述的散射电子收集器，其中，在每个槽的末端形成直径大于所述槽的宽度的钻孔。

7.根据权利要求6所述的散射电子收集器，其中，所述钻孔的轴相对于所述中心孔的轴倾斜。

8.根据权利要求1到7中任一项所述的散射电子收集器，其中，所述热吸收构件的所述中心孔包括圆柱部分和圆锥部分，其中，所述圆柱部分的一个末端位于所述热吸收构件的第一末端处，其中，所述圆柱部分的另一末端并入所述圆锥部分的具有较小直径的末端，并且其中，所述圆锥部分的具有较大直径的末端位于所述热吸收构件的所述第二末端处。

9.根据权利要求1到8中任一项所述的散射电子收集器，其中，所述冷却构件为环形的。

10.根据权利要求1到9中任一项所述的散射电子收集器，其中，所述冷却元件包括在其外周处的多个冷却肋片。

11.根据权利要求1所述的散射电子收集器，其中，所述槽被形成为从所述中心孔相对于所述径向方向倾斜，并沿到所述热吸收构件的所述外周的方向。

12.根据权利要求11所述的散射电子收集器，其中，沿径向方向从所述中心孔到所述热吸收构件的所述外周形成多个槽。

13.根据权利要求11所述的散射电子收集器，其中，沿径向方向从所述中心孔到所述热吸收构件的所述外周形成八个槽。

14.根据权利要求12或13所述的散射电子收集器，其中，所述槽均匀地分布在所述热吸收构件的圆周处。

15.根据权利要求11到14中任一项所述的散射电子收集器，其中，在每个槽的末端形成直径大于所述槽的宽度的钻孔。

16.根据权利要求15所述的散射电子收集器，其中，所述钻孔的轴相对于所述中心孔的轴倾斜。

17.根据权利要求11到16中任一项所述的散射电子收集器，其中，所述热吸收构件的所述中心孔包括圆柱部分和圆锥部分，其中，所述圆柱部分的一个末端位于所述热吸收构件的第一末端处，其中，所述圆柱部分的另一末端并入所述圆锥部分的具有较小直径的末端，并且其中，所述圆锥部分的具有较大直径的末端位于所述热吸收构件的所述第二末端处。

18.根据权利要求11到17中任一项所述的散射电子收集器，其中，所述冷却元件为环形的。

19.根据权利要求11到17中任一项所述的散射电子收集器，其中，所述冷却元件包括在其外周处的多个冷却肋片。

20.根据权利要求1所述的散射电子收集器，其中，所述槽被形成为沿径向方向从所述中心孔开始，并且沿所述热吸收构件的圆周的方向弯曲。

21.根据权利要求20所述的散射电子收集器，其中，沿径向方向从所述中心孔到所述热吸收构件的所述外周形成多个槽。

22.根据权利要求20所述的散射电子收集器，其中，沿径向方向从所述中心孔到所述热吸收构件的所述外周形成八个槽。

23.根据权利要求21或22所述的散射电子收集器，其中，所述槽均匀地分布在所述热吸收构件的圆周处。